Na čo sa používa kremeň v polovodičoch?

V oblasti výroby polovodičov sú v celom procese zahrnuté kroky od rastu kremíkových kryštálov po oxidačnú difúziu, od leptania po čistenie. S rozvojom pokročilých procesov sa tolerancia kontaminácie kovovými nečistotami a časticami v každom kroku čoraz viac znižuje.

Thesyntéza kremeňamá hodnoty ako vysoká čistota, bez bubliniek, bez inklúznych častíc, vysoká priepustnosť UV žiarenia atď. Vďaka tomu postupne nahrádza tradičné prírodné kremenné materiály v pokročilých výrobných procesoch, čo môže výrazne zlepšiť výnos a predĺžiť životnosť.

01 Prsteň na leptanie

Pri bombardovaní plazmou (obsahujúcou vysoko reaktívny fluór a plyny na báze chlóru) vyžadujú materiály extrémne vysokú chemickú inertnosť a odolnosť proti korózii. Súčasne musia mať kremenné materiály extrémne vysokú čistotu, aby sa zabránilo leptaniu kontaminácie častíc. Leptacie krúžky sú spotrebné komponenty; v súčasnosti väčšina zariadení používa prírodný kremeň. Niektoré pokročilé procesy (2nm, 5nm a iné procesy pod 28nm) ich však nahradili syntetickými kremennými leptacími krúžkami kvôli prísnej kontrole častíc a kovových iónov.

02 Kremenná kupola

Priehľadné kupolovité pozorovacie okienko inštalované v hornej časti reakčnej komory v zariadení na leptanie a nanášanie tenkých vrstiev (ako je CVD). Vyžaduje nielen extrémne vysokú čistotu, aby sa zabránilo kontaminácii procesnej komory nečistotami, ale vyžaduje aj určité optické vlastnosti, ktoré umožnia prechod svetelných signálov z detekčného systému na monitorovanie procesu v reálnom čase. Syntetický kremeň s extrémne vysokou priepustnosťou a vysokou čistotou je široko používaný v DOME (difúzna oxidácia).

03 Rúrka pece

Vo vysokoteplotných oxidačných/difúznych peciach slúži ako jadrová rúrková nádoba, v ktorej sa nachádza plátok a prebieha procesná reakcia. Vyžaduje sa extrémne vysoká tepelná odolnosť, umožňujúca dlhodobú prevádzku pri teplotách nad 1200°C bez mäknutia alebo deformácie. Prírodný kremeň vďaka vysokému obsahu Al a nízkemu obsahu hydroxylových skupín dosahuje vysokú tepelnú odolnosť a je široko používaný v rúrach pecí. Keďže však pokročilé procesy vyžadujú čoraz prísnejšie kontroly iónov kovových nečistôt v komore, prírodné kremenné pece postupne nahrádzajú vysoko tepelne odolné syntetické kremenné materiály.

04 Čistenie nádrže

Používa sa na uchovávanie vysoko čistých, vysoko korozívnych čistiacich roztokov (ako SC1, SC2, kyselina fluorovodíková, kyselina sírová atď.) na mokré čistenie doštičiek. Kremenné materiály majú vynikajúcu odolnosť voči kyselinovej a alkalickej korózii: dokážu odolávať erózii takmer všetkých silných kyselín (okrem kyseliny fluorovodíkovej a horúcej kyseliny fosforečnej), čím zaisťujú, že nádrž zostane nekorodovaná pre dlhodobé používanie. Pri dlhšom používaní sa však kovové ióny v kremennej nádrži postupne uvoľňujú a ľahko spôsobujú kontamináciu. Syntetický kremeň triedy PPB účinne znižuje kontamináciu kovovými nečistotami iónmi a jeho povaha bez bublín ho robí vhodnejším na spracovanie hladkých, hustých povrchov, čím sa znižuje priľnavosť nečistôt.

05. Okienko UV vytvrdzovania

Inštaluje sa na UV vytvrdzovacie zariadenie a slúži ako okno prepúšťajúce UV svetlo. Syntetický kremeň má spomedzi všetkých optických materiálov najvyššiu priepustnosť v hlbokom ultrafialovom (DUV) až ultrafialovom (UV) pásme (až do 185 nm). Jeho vysoká pevnosť a odolnosť voči žiareniu tiež zaisťujú, že jeho výkon nedegraduje alebo nezmení farbu pri dlhodobom UV žiarení.

06. Pokročilý nosič balenia

V pokročilých baliacich procesoch (ako je Fan-Out, 2,5D/3D IC) môžu byť nosné doštičky zo syntetického kremeňa použité ako nosné platne na dočasné podopretie, upevnenie, prepravu a spracovanie ultratenkých doštičiek alebo na rekonštrukciu doštičiek. Syntetický kremenný materiál možno spracovať tak, aby sa dosiahla vynikajúca rovinnosť a tuhosť, ktorá poskytuje pevnú podporu pre ultratenké čipy a zabezpečuje presnosť procesu.

Semicorex dodáva vysoko kvalitnéprispôsobené kremenné komponentyna rôzne spracovanie. Pre prispôsobené riešenia alebo dodatočné technické informácie neváhajte kontaktovať náš technický tím.

Telefón: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com