Ako pokročilé materiály riešia 3 kritické výzvy v dizajne polovodičovej pece

Závod o zmenšovanie veľkostí tranzistorov a mierka účinnosti solárnych buniek posúva tepelné spracovateľské zariadenia na svoje limity. V spoločnosti Semicorex sme strávili dve desaťročia spoluprácou s vedúcimi výrobcami polovodičov a PV, aby sme riešili opakujúci sa bod bolesti: Ak štandardné materiály zlyhajú v extrémnych podmienkach, môžu byť ohrozené celé výrobné šarže.

CVD povlaky: brnenie pre komponenty procesu

Chemické ukladanie pary (CVD) povlaky ako karbid kremíka (SIC) a karbid tantalu (TAC) sú revolúciou v dlhovekosti komponentov v drsnom prostredí:

Náter SICVýhody:

Vydrží teploty až do 1 650 ° C v inertnej atmosfére

Znižuje kontamináciu častíc v reaktoroch epitaxných rastov

Rozširuje službu Life of Graphite Susters o 3-5x

Náter TACV difúznych bariérach:

Zabraňuje infiltrácii roztaveného kremíka v téglikách (99,999% retencia čistoty)

Minimalizuje oblátkovú vojnu počas rýchleho tepelného spracovania (RTP)

Keď teploty prekročia 1600 ° C: Výhoda povlaku CVD

Toto nie je mágia - je to veda o materiáloch. Náš proprietárny proces CVD usadzuje povlaky SIC aj TAC s presnosťou na úrovni atómovej úrovne a vytvárajú povrchy, ktoré:

Odolať korózii kremíkovej pary 3x dlhšie ako štandardné povlaky

Udržujte variácie hrúbky <0,5 µm v komplexných geometriách

Eliminujte delamináciu povlaku aj pri tepelnej cyklistike

Tichá kríza v tepelnej uniformite

V kryštálových rastových peciach môže nekonzistentná distribúcia teploty premeniť kremíkový ingot 250 000 dolárov na šrot. Prostredníctvom materiálnych inovácií ako:

Graphitovo plsť s hustotou (dizajn gradientu 0,18-0,25 g/cm3)

Kompozitné izolátory uhlíkových uhlíkov s <2% tepelnou expanznou anizotropiou

... pomohli sme klientom dosiahnuť:

✔ ± 1,5 ° C Axiálna teplota Uniformita v 300 mm czochralski systémoch

✔ 40% Rýchlejšie rýchlosti chladenia bez praskania ingot

Prečo je čistota kremeňa dôležitejšia ako kedykoľvek predtým

Keď zlievareň Tier-1 MEMS vysledovala defekty častíc k ich leptaniu komory, náš roztok kremenného kremeňa bez bublín:

Znížená kontaminácia kovov o 89% (analýza ICP-MS)

Rozšírené preventívne intervaly údržby od 3 do 8 mesiacov

Dosiahnutá 99,999% počiatočná čistota s obsahom <0,1 ppb alkalického obsahu kovu

Okrem špecifikácií: Aplikačné inžinierstvo záleží

Zatiaľ čo technické špecifikácie poskytujú základné porovnania, výkon v reálnom svete závisí od:

;

• Knižnice režimu zlyhania - Naša databáza 1 200+ prípadov zlyhania komponentov informuje výber materiálu

• Vlastné klasifikácie - Úprava grafitskej pórovitosti/vodivosti v prierezoch čiastočne

Semicorex ponúka vysokokvalitnúCarbid potiahnutý tantalumaKremíkový karbid potiahnutýPrispôsobené diely. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte a kontaktujte nás.

Kontakt Telefón # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com