Ohniskový krúžok alebo okrajové krúžky sú navrhnuté tak, aby zlepšili rovnomernosť leptania okolo okraja alebo obvodu plátku.
Zaostrovacie krúžky Semicorex sú potiahnuté karbidom kremíka pomocou chemického naparovania (CVD) a poskytujú vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvanlivú chemickú odolnosť, ktoré sú vyrobené tak, aby odolali extrémnym prostrediam v procese plazmového leptania alebo suchého leptania. .
Semicorex SiC Focus Ring je vysoko čistý krúžok z karbidu kremíka navrhnutý tak, aby optimalizoval distribúciu plazmy a jednotnosť procesu doštičiek pri výrobe polovodičov. Výber Semicorex znamená zabezpečenie konzistentnej kvality, pokročilého materiálového inžinierstva a spoľahlivého výkonu, ktorému dôverujú poprední výrobcovia polovodičov na celom svete.*
Čítaj viacOdoslať dopyt