Ohniskový krúžok alebo okrajové krúžky sú navrhnuté tak, aby zlepšili rovnomernosť leptania okolo okraja alebo obvodu plátku.
Zaostrovacie krúžky Semicorex sú potiahnuté karbidom kremíka pomocou chemického naparovania (CVD) a poskytujú vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvanlivú chemickú odolnosť, ktoré sú vyrobené tak, aby odolali extrémnym prostrediam v procese plazmového leptania alebo suchého leptania. .
Odolné zaostrovacie krúžky Semicorex pre spracovanie polovodičov sú navrhnuté tak, aby odolali extrémnym prostrediam plazmových leptacích komôr používaných pri spracovaní polovodičov. Naše zaostrovacie krúžky sú vyrobené z vysoko čistého grafitu potiahnutého hustým povlakom z karbidu kremíka (SiC), ktorý je odolný voči opotrebovaniu. Povlak SiC má vysokú odolnosť proti korózii a teplu, ako aj vynikajúcu tepelnú vodivosť. Nanášame SiC v tenkých vrstvách na grafit pomocou procesu chemického nanášania pár (CVD), aby sme zlepšili životnosť našich zaostrovacích krúžkov.
Čítaj viacOdoslať dopytZaostrovací krúžok na spracovanie plazmou Semicorex je špeciálne navrhnutý tak, aby spĺňal vysoké požiadavky na spracovanie plazmového leptania v polovodičovom priemysle. Naše pokročilé, vysoko čisté komponenty potiahnuté karbidom kremíka sú vyrobené tak, aby odolali extrémnym prostrediam a sú vhodné na použitie v rôznych aplikáciách vrátane vrstiev karbidu kremíka a epitaxných polovodičov.
Čítaj viacOdoslať dopytPokročilé krúžky SiC Focus s vysokou čistotou Semicorex sú vyrobené tak, aby odolali extrémnym podmienkam v komorách na plazmové leptanie (alebo suché leptanie). Zameriavame sa na polovodičový priemysel, ako sú vrstvy karbidu kremíka a epitaxné polovodiče. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú mnohé z európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt