TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
|
Projekty |
Parametre |
|
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emisivita |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Tvrdosť (HK) |
2000 |
|
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
|
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
|
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coated Components v epitaxnom raste je vzácna opracovaná časť umiestnená v prívode vzduchu v epitaxnom procese v polovodiči. Semicorex je špičková spoločnosť, ktorá sa špecializuje na technológiu CVD TaC povlakov v Číne a vyváža produkty do celého sveta.*
Čítaj viacOdoslať dopytDržiak očkovacích kryštálov potiahnutý TaC je vysoko výkonný komponent špeciálne navrhnutý pre rastové prostredie polovodičových materiálov. Ako popredný výrobca držiakov očkovacích kryštálov potiahnutých TTaC vám semicorex ponúka efektívne riešenia základných komponentov v oblasti výroby špičkových polovodičov.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coating Pedestal Supporter je kritický komponent navrhnutý pre epitaxné rastové systémy, špeciálne prispôsobený na podporu podstavcov reaktorov a optimalizáciu distribúcie prietoku procesného plynu. Semicorex prináša vysokovýkonné, precízne navrhnuté riešenie, ktoré kombinuje vynikajúcu štrukturálnu integritu, tepelnú stabilitu a chemickú odolnosť – zaisťuje konzistentný a spoľahlivý výkon v pokročilých epitaxných aplikáciách.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex CVD TaC Coated Susceptor je prémiové riešenie navrhnuté pre MOCVD epitaxné procesy, ktoré poskytuje vynikajúcu tepelnú stabilitu, čistotu a odolnosť proti korózii v extrémnych procesných podmienkach. Semicorex sa zameriava na precízne vyvinutú technológiu povrchovej úpravy, ktorá zaisťuje konzistentnú kvalitu plátku, predĺženú životnosť komponentov a spoľahlivý výkon v každom výrobnom cykle.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Crucibles sú vysokovýkonné nádoby navrhnuté pre extrémne teplotné aplikácie, vhodné pre tavenie kovov aj pokročilé polovodičové procesy. Výber Semicorex znamená získanie prístupu k špičkovej technológii lakovania a inžinierskym odborným znalostiam, ktoré poskytujú výnimočnú čistotu, odolnosť a stabilitu v tých najnáročnejších prostrediach.*
Čítaj viacOdoslať dopytPlanetárna platňa s povrchovou úpravou Semicorex TaC je vysoko presný komponent navrhnutý pre epitaxiálny rast MOCVD s planetárnym pohybom s viacerými vreckami na doštičky a optimalizovaným riadením prietoku plynu. Výber Semicorex znamená prístup k pokročilej technológii povrchovej úpravy a inžinierskym odborným znalostiam, ktoré poskytujú výnimočnú odolnosť, čistotu a procesnú stabilitu pre polovodičový priemysel.*
Čítaj viacOdoslať dopyt