TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
|
Projekty |
Parametre |
|
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emisivita |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Tvrdosť (HK) |
2000 |
|
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
|
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
|
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Pórovité krúžky z karbidu tantalu Semicorex sú vysokovýkonné žiaruvzdorné komponenty špeciálne navrhnuté pre proces fyzického transportu pár (PVT) rastu kryštálov karbidu kremíka (SiC), vyznačujúce sa monolitickou sintrovanou štruktúrou, ktorá ponúka výnimočnú tepelnú stabilitu a riadenú priepustnosť plynov.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC-potiahnuté grafitové doštičkové susceptory sú špičkové komponenty, ktoré sa typicky používajú na stabilnú podporu a umiestnenie polovodičových doštičiek počas pokročilých polovodičových epitaxných procesov. Využitím najmodernejších výrobných technológií a vyspelých výrobných skúseností sa Semicorex zaviazal dodávať našim váženým zákazníkom na mieru vyrobené grafitové doštičkové susceptory potiahnuté TaC s vedúcou kvalitou na trhu.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex CVD TaC Coated Susceptors sú vysokovýkonné grafitové susceptory s hustým TaC povlakom, navrhnuté tak, aby poskytovali vynikajúcu tepelnú rovnomernosť a odolnosť voči korózii pre náročné procesy epitaxného rastu SiC. Semicorex kombinuje pokročilú technológiu CVD povlaku s prísnou kontrolou kvality, aby poskytla dlhotrvajúce susceptory s nízkou kontamináciou, ktorým dôverujú svetoví výrobcovia SiC epi.*
Čítaj viacOdoslať dopytVodiace krúžky Semicorex potiahnuté karbidom tantalu sú vysoko výkonné kruhové komponenty používané v zariadeniach na rast polovodičových kryštálov. Sú špeciálne navrhnuté tak, aby vytvorili vhodný teplotný gradient a stabilné prostredie prúdenia vzduchu počas rastu kryštálov. Výberom vodiacich krúžkov Semicorex potiahnutých karbidom tantalu získate výhody z bezkonkurenčnej technológie povrchovej úpravy a vysoko efektívnej a stabilnej výroby.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Graphite Crucible je vyrobený z grafitu s povlakom karbidu tantalu metódou CVD, čo je najvhodnejší materiál aplikovaný v procese výroby polovodičov. Semicorex je spoločnosť, ktorá sa neustále špecializuje na CVD keramické povlaky a ponúka najlepšie materiálové riešenia v polovodičovom priemysle.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Components v epitaxnom raste je vzácna opracovaná časť umiestnená v prívode vzduchu v epitaxnom procese v polovodiči. Semicorex je špičková spoločnosť, ktorá sa špecializuje na technológiu CVD TaC povlakov v Číne a vyváža produkty do celého sveta.*
Čítaj viacOdoslať dopyt