TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, vďaka čomu je žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. To z neho robí atraktívnu alternatívu, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
projekty |
Parametre |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdosť (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2 500 |
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
Hrúbka povlaku |
⥠20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex porézny grafit s povlakom TaC je špecializovaný materiál navrhnutý na riešenie kritických problémov pri raste kryštálov karbidu kremíka (SiC). Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytPorézny grafit potiahnutý karbidom tantalu Semicorex je najnovšou inováciou v technológii rastu kryštálov karbidu kremíka (SiC). Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Susceptor (Tantalum Carbide Coated Susceptor) je vysoko špecializovaný komponent používaný pri výrobe polovodičov a iných vysokoteplotných aplikáciách. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Tantalum Carbide Coating Chuck je precízne skonštruovaný komponent navrhnutý na použitie vo vysokoteplotnom a vysoko namáhanom prostredí. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex CVD TaC Coating Ring je vysokovýkonný komponent navrhnutý pre náročné aplikácie vyžadujúce výnimočnú odolnosť proti opotrebovaniu, tepelnú stabilitu a chemickú inertnosť. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSprchová hlavica Semicorex SiC je základnou súčasťou procesu epitaxného rastu, špeciálne navrhnutá na zvýšenie rovnomernosti a účinnosti nanášania tenkých vrstiev na polovodičové doštičky. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt