Keramika z karbidu kremíka (SiC) je pokročilý keramický materiál obsahujúci kremík a uhlík. Zrná karbidu kremíka sa môžu spájať spekaním za vzniku veľmi tvrdej keramiky. Semicorex dodáva keramiku z karbidu kremíka podľa vašich požiadaviek.
Aplikácie
S keramikou z karbidu kremíka zostávajú vlastnosti materiálu konštantné až do teplôt nad 1 400 °C. Vysoký Youngov modul > 400 GPa zaisťuje vynikajúcu rozmerovú stabilitu.
Typickou aplikáciou pre komponenty z karbidu kremíka je technológia dynamického tesnenia využívajúca trecie ložiská a mechanické upchávky, napríklad v čerpadlách a pohonných systémoch.
Vďaka pokročilým vlastnostiam je keramika z karbidu kremíka ideálna aj na použitie v polovodičovom priemysle.
Oblátkové člny
Semicorex Wafer Boat je vyrobený zo spekanej keramiky z karbidu kremíka, ktorá má dobrú odolnosť proti korózii a vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a teplotným šokom. Pokročilá keramika poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvanlivosť plazmy a zároveň zmierňuje častice a kontaminanty pre vysokokapacitné nosiče plátkov.
Reakčný spekaný karbid kremíka
V porovnaní s inými procesmi spekania je zmena veľkosti reakčného spekania počas procesu zahusťovania malá a môžu sa vyrábať produkty s presnými rozmermi. Prítomnosť veľkého množstva SiC v spekanom telese však zhoršuje vysokoteplotné vlastnosti reakčne spekanej SiC keramiky.
Beztlakový spekaný karbid kremíka
Beztlakový spekaný karbid kremíka (SSiC) je mimoriadne ľahká a zároveň tvrdá vysokovýkonná keramika. SSiC sa vyznačuje vysokou pevnosťou, ktorá zostáva takmer konštantná aj pri extrémnych teplotách.
Rekryštalický karbid kremíka
Rekryštalizovaný karbid kremíka (RSiC) sú materiály novej generácie vytvorené zmiešaním hrubého prášku z karbidu kremíka s vysokou čistotou a jemného prášku z karbidu kremíka s vysokou aktivitou a po injektáži vákuovým spekaním pri 2450 °C na rekryštalizáciu.
|
|
Reakčný spekaný karbid kremíka |
Beztlakový spekaný karbid kremíka |
Rekryštalizovaný karbid kremíka |
Typické vlastnosti |
Jednotky |
hodnoty |
|
|
Objemová hustota |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Ohybová pevnosť |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20 °C) |
Tlaková sila |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Tvrdosť |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Prelomenie húževnatosti |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Tepelná vodivosť |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Špecifické teplo |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maximálna teplota vzduchu |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modul pružnosti |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Ohybová pevnosť |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20 °C) |
Semicorex Wafer Boat Carrier predstavuje vrchol inovácie v oblasti spracovania polovodičov. Tento nosič je starostlivo vyrobený z grafitu a spevnený špičkovým povlakom z karbidu kremíka (SiC) s chemickým nanášaním z pár (CVD) a je príkladom presného inžinierstva a pokročilej vedy o materiáloch. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Baffle Wafer Boat je vysoko pokročilé zariadenie používané pri spracovaní polovodičov. Bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné oblátky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytRobotické rameno Semicorex Zirconia ZrO2, životne dôležitý komponent pri spracovaní polovodičov pre bezproblémový prenos a manipuláciu s plátkami. Toto keramické rameno, vyrobené tak, aby vydržalo prísne požiadavky vysokoteplotného, korozívneho a abrazívneho prostredia, sa môže pochváliť bezkonkurenčnou odolnosťou a spoľahlivosťou. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Zirconia Ceramic Nozzle, vyrobená s precíznou pozornosťou k detailu, je táto tryska stelesnením dokonalosti v riadení prietoku plynov a kvapalín s bezkonkurenčnou rovnomernosťou a presnosťou. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Aluminium Nitride Ceramic Chuck predstavuje špičkové riešenie pre spracovanie polovodičových doštičiek, špeciálne navrhnuté na bezpečné držanie doštičiek na mieste počas rôznych fáz výroby. Toto inovatívne zariadenie, ktoré funguje ako elektrostatické skľučovadlo (ESC), využíva výnimočné vlastnosti keramiky z nitridu hliníka na zabezpečenie presného a spoľahlivého uchytenia plátku. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Aluminium Nitride (AlN) držiak doštičiek je nepostrádateľným komponentom v oblasti spracovania polovodičov a slúži ako kľúčová platforma pre bezpečné držanie jemných plátkov v rôznych fázach výroby. Tento držiak doštičiek, vyrobený z vysoko kvalitného materiálu nitridu hliníka, známeho pre svoju výnimočnú tepelnú vodivosť, mechanickú pevnosť a elektrické izolačné vlastnosti, zaisťuje optimálne podmienky pre presné a efektívne procesy výroby polovodičov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt