Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Semicorex kremíkové nitridové doštičky sú vysoko pevné keramické substráty navrhnuté tak, aby poskytovali výnimočný tepelný výkon a mechanickú spoľahlivosť pre pokročilé výkonové moduly. Výber SemiCorex znamená úžitok z presnej výroby, prísnej kontroly kvality a odborných znalostí materiálov, ktoré zabezpečujú konzistentný výkon aj v najnáročnejších aplikáciách.*
Čítaj viacOdoslať dopytVertikálna loď Semicorex SIC je vysoko výkonná nosná oblátka navrhnutá na použitie vo vertikálnych procesoch pecí a ponúka mimoriadnu stabilitu, čistotu a trvanlivosť. Vyberte si SemiCorex pre nekompromisnú kvalitu, presnú výrobu a osvedčenú spoľahlivosť pri polovodičovom tepelnom spracovaní.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SIC rúrky sú vysoko výkonné keramické komponenty karbidu kremíka navrhnuté pre aplikácie polovodičových pecí, ktoré dodávajú výnimočné tepelné, mechanické a chemické stability v náročných procesných prostrediach. Vyberte si Semicorex pre potrubia SIC s presným inžinierstvom, ktoré zabezpečujú konzistentnú kvalitu, predĺženú životnosť a maximálnu účinnosť pecí.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Horizontal Chamber Purnace SIC Boats sú nosič kremíkového karbidu s vysokou čistotou určený pre bezpečné držanie oblátok počas vysokoteplotného horizontálneho spracovania pecí. Výber SemiCorex znamená úžitok z presného inžinierstva, výnimočnej trvanlivosti a vynikajúceho tepelného výkonu pre konzistentnú výrobu vysokej výnosnosti.*
Čítaj viacOdoslať dopytStredné skenovacie zrkadlá kremíka Semicorex poskytujú výnimočnú presnosť, rýchlosť a stabilitu pre najnáročnejšie optické skenovacie aplikácie. Vyberte si SemiCorex pre neprekonateľné odborné znalosti v oblasti inžinierstva SIC, ponúka prispôsobené geometrie, prémiové povlaky a osvedčenú spoľahlivosť vo vysokovýkonných optických systémoch.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SIC zrkadlá sú vysoko výkonné optické komponenty kremíkového karbidu navrhnuté pre extrémnu presnosť v aplikáciách, ako sú optické skenovacie systémy, litografia a vesmírne teleskopy. Vyberte si Semicorex pre naše pokročilé výrobné znalosti, prispôsobiteľné návrhy a výnimočné povrchové dokončenie, ktoré zabezpečujú neprekonateľnú stabilitu, odrazivosť a spoľahlivosť v najnáročnejších prostrediach.*
Čítaj viacOdoslať dopyt