Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Kelímky z nitridu bóru lisované za tepla, špeciálne navrhnuté pre aplikácie pri extrémnych teplotách, sú nepostrádateľné keramické nádoby, ktoré slúžia ako skvelé riešenia pre procesy tavenia a odparovania kovov a procesy rastu polovodičových kryštálov.
Čítaj viacOdoslať dopytTrubice na ochranu termočlánkov SIC, vyrobené z vysokokvalitných materiálov z karbidu kremíka, sú pokročilé keramické riešenia používané na ochranu termočlánkov pred bežnou prevádzkou v náročných prostrediach s vysokou teplotou. Vyberte si Semicorex pre precízne skonštruované ochranné trubice SIC termočlánkov, ktoré zaisťujú konzistentnú kvalitu, nákladovo efektívnu cenu a maximálnu účinnosť chladenia.
Čítaj viacOdoslať dopytChladiace kanály z karbidu kremíka, vyrobené z vysoko výkonnej keramiky z karbidu kremíka, sú výkonné rúrkové komponenty používané v chladiacich procesoch vysokoteplotných priemyselných pecí. Vyberte si Semicorex pre precízne navrhnuté chladiace kanály z karbidu kremíka, ktoré zaisťujú konzistentnú kvalitu, nákladovo efektívnu cenu a maximálnu účinnosť chladenia.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Carbon Ceramic Brake je vyrobený z pokročilých uhlíkových keramických kompozitov, ktoré sú pokrokovým materiálom, ktorý je veľmi vhodný do vysokoteplotného pracovného prostredia. Semicorex dodáva prispôsobené produkty podľa aplikácií a požiadaviek zákazníkov.*
Čítaj viacOdoslať dopytICP leptacia doska z karbidu kremíka je nepostrádateľný držiak doštičiek vyrobený z vysoko čistej spekanej keramiky z karbidu kremíka. Špeciálne navrhnutý spoločnosťou Semicorex slúži ako kľúčový prvok pre systémy leptania a depozície s indukčne viazanou plazmou (ICP) v špičkovom polovodičovom priemysle.
Čítaj viacOdoslať dopytTégliky z nitridu hliníka od Semicorex sú vyrábané z polovodičovej keramiky AlN, čo sú vysokovýkonné reakčné nádoby používané v náročných vysokoteplotných prostrediach. Semicorex ponúka zákazkovú výrobu podľa požiadaviek zákazníka, zvláda ako veľké objednávky, tak aj potreby malých sérií prototypov.
Čítaj viacOdoslať dopyt