Čína Sprchová hlavica Výrobcovia, dodávatelia, továreň

Sprchová hlavica SiC (karbid kremíka) je špecializovaný komponent používaný v rôznych priemyselných procesoch, najmä v priemysle výroby polovodičov. Je navrhnutý tak, aby distribuoval a dodával procesné plyny rovnomerne a presne počas chemickej depozície z pár (CVD) a procesov epitaxného rastu.

Sprchová hlavica má tvar disku alebo dosky s viacerými rovnomerne rozmiestnenými otvormi alebo tryskami na povrchu. Tieto otvory slúžia ako výstupy pre procesné plyny, ktoré umožňujú ich vstrekovanie do procesnej komory alebo reakčnej komory. Veľkosť, tvar a rozmiestnenie otvorov sa môže líšiť v závislosti od konkrétnej aplikácie a požiadaviek na proces.

Jednou z kľúčových výhod použitia SiC sprchovej hlavice je jej vynikajúca tepelná vodivosť. Táto vlastnosť umožňuje efektívny prenos tepla a rovnomernú distribúciu teploty po povrchu sprchovej hlavice, čím zabraňuje vzniku horúcich miest a zabezpečuje konzistentné podmienky procesu. Zvýšená tepelná vodivosť tiež umožňuje rýchle ochladenie sprchovej hlavice po procese, čím sa minimalizujú prestoje a zvyšuje sa celková produktivita.

SiC sprchové hlavice sú vysoko odolné a odolné voči opotrebovaniu, dokonca aj pri dlhodobom vystavení korozívnym plynom a vysokým teplotám. Táto životnosť sa premieta do predĺžených intervalov údržby a znížených prestojov zariadení, čo vedie k úspore nákladov a zlepšenej spoľahlivosti procesu.

Okrem svojej robustnosti ponúkajú sprchové hlavice SiC vynikajúce možnosti distribúcie plynu. Presne navrhnuté vzory a konfigurácie otvorov zaisťujú rovnomerný tok plynu a distribúciu po povrchu substrátu, čím podporujú konzistentné ukladanie filmu a zlepšujú výkon zariadenia. Rovnomerná distribúcia plynu tiež pomáha minimalizovať odchýlky v hrúbke filmu, zložení a iných kritických parametroch, čo prispieva k zlepšeniu kontroly procesu a výťažnosti.

Semicorex ponúka polovodičovú sprchovú hlavicu zo spekaného karbidu kremíka s nízkym odporom.  Máme schopnosť zákazkového inžinierstva a dodávky pokročilých keramických materiálov s využitím rôznych jedinečných schopností.