Semicorex RTP nosič je potiahnutý karbidom kremíka pomocou procesu chemického nanášania pár (CVD), ktorý je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie. Jadrom polovodičového procesu sú epitaxné susceptory, ktoré sú najskôr vystavené depozičnému prostrediu, takže majú vysokú tepelnú a koróznu odolnosť. Nosič potiahnutý SiC má tiež vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla.
● Vysoko čistý grafit potiahnutý SiC
● Vynikajúca tepelná odolnosť a chemická odolnosť
● Vysoká tepelná rovnomernosť
● Vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu