Koncový efektor je ruka robota, ktorá presúva polovodičové doštičky medzi polohami v zariadení na spracovanie doštičiek a nosičmi. Koncový efektor musí byť rozmerovo presný a tepelne stabilný, pričom musí mať hladký povrch odolný voči oderu, aby bolo možné bezpečne manipulovať s plátkami bez poškodenia zariadenia alebo kontaminácie časticami.
Komponenty povlaku z karbidu kremíka s vysokou čistotou (SiC) Semicorex poskytujú vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvanlivú chemickú odolnosť.