Koncový efektor je ruka robota, ktorá presúva polovodičové doštičky medzi polohami v zariadení na spracovanie doštičiek a nosičmi. Koncový efektor musí byť rozmerovo presný a tepelne stabilný, pričom musí mať hladký povrch odolný voči oderu, aby bolo možné bezpečne manipulovať s plátkami bez poškodenia zariadenia alebo kontaminácie časticami.
Komponenty povlaku z karbidu kremíka s vysokou čistotou (SiC) Semicorex poskytujú vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvanlivú chemickú odolnosť.
Keramické rameno Semicorex Alumina je vysokokvalitný robotický komponent určený pre presné a bez kontaminácie manipulácie s oblátkami bez kontaminácie vo výrobe polovodičov. Výber Semicorexu zaisťuje nielen pokročilú kvalitu materiálu pre keramický materiál z hlinitého, ale aj presné remeselné spracovanie, ktoré zaručuje trvanlivosť, čistotu a spoľahlivosť v kritických procesných prostrediach.*
Čítaj viacOdoslať dopytArm Semicorex SIC je vysokokvalitný komponent karbidu kremíka navrhnutý pre presnú manipuláciu s oblátkami a polohovanie vo výrobe polovodičov. Výber Semicorexu zaisťuje neprekonateľnú spoľahlivosť materiálu, chemický odpor a presné inžinierstvo, ktoré podporujú najnáročnejšie polovodičové procesy.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SIC prsty sú komponenty s presným inžinierom vyrobené z vysoko výživného karbidu kremíka, ktoré sú navrhnuté tak, aby vykonávali extrémne požiadavky výroby polovodičov. Výber SemiCorex znamená prístup k pokročilým odborným znalostiam, vysoko presným spracovaním a spoľahlivým riešeniam dôveryhodným v aplikáciách zaobchádzania s kritickými doštičkami.*
Čítaj viacOdoslať dopyt