SiC povlak je tenká vrstva na susceptore prostredníctvom procesu chemického nanášania pár (CVD). Materiál z karbidu kremíka poskytuje množstvo výhod oproti kremíku, vrátane 10-násobku intenzity elektrického poľa pri prieraze, 3-násobku šírky zakázaného pásma, čo poskytuje materiálu odolnosť voči vysokej teplote a chemikáliám, vynikajúcu odolnosť proti opotrebeniu, ako aj tepelnú vodivosť.
Semicorex poskytuje prispôsobené služby, pomáha vám inovovať komponenty, ktoré vydržia dlhšie, skracujú časy cyklov a zlepšujú výnosy.
SiC povlak má niekoľko jedinečných výhod
Odolnosť voči vysokej teplote: Susceptor potiahnutý CVD SiC dokáže odolať vysokým teplotám až do 1600 °C bez toho, aby podstúpil výraznú tepelnú degradáciu.
Chemická odolnosť: Povlak z karbidu kremíka poskytuje vynikajúcu odolnosť voči širokému spektru chemikálií, vrátane kyselín, zásad a organických rozpúšťadiel.
Odolnosť proti opotrebovaniu: Povlak SiC poskytuje materiálu vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu, vďaka čomu je vhodný pre aplikácie, ktoré zahŕňajú vysoké opotrebovanie.
Tepelná vodivosť: Povlak CVD SiC poskytuje materiálu vysokú tepelnú vodivosť, vďaka čomu je vhodný na použitie vo vysokoteplotných aplikáciách, ktoré vyžadujú efektívny prenos tepla.
Vysoká pevnosť a tuhosť: Susceptor potiahnutý karbidom kremíka poskytuje materiálu vysokú pevnosť a tuhosť, vďaka čomu je vhodný pre aplikácie, ktoré vyžadujú vysokú mechanickú pevnosť.
SiC povlak sa používa v rôznych aplikáciách
Výroba LED: Susceptor potiahnutý CVD SiC sa používa pri výrobe rôznych typov LED, vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED, vďaka svojej vysokej tepelnej vodivosti a chemickej odolnosti.
Mobilná komunikácia: CVD SiC potiahnutý susceptor je kľúčovou súčasťou HEMT na dokončenie epitaxného procesu GaN-on-SiC.
Spracovanie polovodičov: Susceptor potiahnutý CVD SiC sa používa v polovodičovom priemysle na rôzne aplikácie vrátane spracovania plátkov a epitaxného rastu.
Grafitové komponenty potiahnuté SiC
Vyrobený grafitom z karbidu kremíka (SiC), povlak sa nanáša metódou CVD na špecifické druhy grafitu s vysokou hustotou, takže môže pracovať vo vysokoteplotnej peci s viac ako 3000 °C v inertnej atmosfére, 2200 °C vo vákuu .
Špeciálne vlastnosti a nízka hmotnosť materiálu umožňujú vysokú rýchlosť ohrevu, rovnomerné rozloženie teploty a vynikajúcu presnosť ovládania.
Materiálové údaje Semicorex SiC Coating
Typické vlastnosti |
Jednotky |
hodnoty |
Štruktúra |
|
FCC β fáza |
Orientácia |
zlomok (%) |
111 preferovaný |
Objemová hmotnosť |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdosť |
Tvrdosť podľa Vickersa |
2500 |
Tepelná kapacita |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Tepelná rozťažnosť 100 – 600 °C (212 – 1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300) |
430 |
Veľkosť zrna |
μ m |
2~10 |
Teplota sublimácie |
℃ |
2700 |
Felexurálna sila |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Tepelná vodivosť |
(W/mK) |
300 |
Záver CVD Susceptor potiahnutý SiC je kompozitný materiál, ktorý kombinuje vlastnosti susceptora a karbidu kremíka. Tento materiál má jedinečné vlastnosti, vrátane vysokej teploty a chemickej odolnosti, vynikajúcej odolnosti proti opotrebovaniu, vysokej tepelnej vodivosti a vysokej pevnosti a tuhosti. Tieto vlastnosti z neho robia atraktívny materiál pre rôzne vysokoteplotné aplikácie, vrátane spracovania polovodičov, chemického spracovania, tepelného spracovania, výroby solárnych článkov a výroby LED.
Semicorex Silicon Carbide Boat Holder je špecializovaný produkt vyrobený z materiálu SiC, starostlivo navrhnutý pre aplikácie v odvetviach, ako je fotovoltaika, elektronika a polovodiče. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Solar Graphite Boat, precízne skonštruovaný držiak doštičiek navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky vysokoteplotného spracovania polovodičov. Tento inovatívny čln, vyrobený z prvotriedneho grafitu, ponúka bezkonkurenčnú tepelnú stabilitu a odolnosť, čím zabezpečuje optimálny výkon aj v tých najnáročnejších prostrediach pecí. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Support Crucible stojí ako kľúčový komponent v zložitom procese rastu solárnych kremíkových kryštálov a slúži ako pevný základ pre transformáciu surovín na vysokokvalitné kremíkové ingoty určené pre fotovoltaické aplikácie. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Barrel Susceptor s povlakom SiC je špičkové riešenie navrhnuté na zvýšenie účinnosti a presnosti kremíkových epitaxných procesov. Tento sudový susceptor s povlakom SiC, vyrobený s precíznou pozornosťou k detailu, je prispôsobený tak, aby spĺňal náročné požiadavky výroby polovodičov, pričom slúži ako optimálny držiak doštičiek a uľahčuje bezproblémový prenos tepla na doštičky. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Barrel For Silicon Epitaxy je navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky na aplikované materiály a jednotky LPE. Tento sudovitý susceptor, vyrobený s presnosťou a inováciou, je vyrobený z vysoko kvalitného grafitu potiahnutého SiC, čo zaisťuje výnimočný výkon a odolnosť v aplikáciách silikónovej epitaxie. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytGrafitový susceptor Semicorex s povlakom SiC je základným komponentom navrhnutým pre procesy kremíkovej epitaxie v aplikovaných materiáloch a jednotkách LPE (Liquid Phase Epitaxy). Tento susceptor vyrobený z vysoko kvalitného grafitového materiálu potiahnutého karbidom kremíka (SiC) zaisťuje vynikajúci výkon a dlhú životnosť v prostredí výroby polovodičov. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt