Ako profesionálny výrobca by sme vám radi poskytli polovodičové komponenty. Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokej teplote a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Komponenty potiahnuté SiC s vysokou čistotou sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od grafitového spotrebného materiálu pre horúce zóny pestovania kryštálov (ohrievače, susceptory téglikov, izolácie) až po vysoko presné grafitové komponenty pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako sú grafitové susceptory potiahnuté karbidom kremíka pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva grafitovú konštrukciu potiahnutú vysoko čistým karbidom kremíka (SiC), ktorý poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Koncový efektor →
Koncový efektor je ruka robota, ktorá pohybuje polovodičovými plátkami medzi polohami v zariadení na spracovanie plátkov a nosičmi.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Monokryštálové kremíkové elektródy Semicorex slúžia ako elektródy aj ako dráhy leptacieho plynu počas procesu leptania plátku. Semicorex monokryštálové kremíkové elektródy sú nepostrádateľné kremíkové komponenty skonštruované špeciálne pre špičkovú výrobu polovodičových leptadiel, ktoré môžu pomôcť zlepšiť presnosť a jednotnosť leptania.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Cantilever Paddles sú precízne skonštruované komponenty navrhnuté pre vysokoteplotné a vysoko čisté aplikácie na spracovanie polovodičov. Semicorex poskytuje vysokokvalitné konzolové pádla, ktoré spĺňajú náročné požiadavky na pokročilú manipuláciu s plátkami a systémy tepelného manažmentu.*
Čítaj viacOdoslať dopytKremíkové leptacie krúžky Semicorex sú presné leptacie prvky v tvare krúžku vyrobené z vysoko čistého monokryštálového kremíka. Sú to základné kremíkové časti používané v zariadeniach na plazmové leptanie, navrhnuté špeciálne na vytvorenie optimálnych podmienok pre plazmové leptanie. Vyberte si Semicorex, vyberte si kvalitné silikónové leptané krúžky.
Čítaj viacOdoslať dopytRúry pece Semicorex pre LPCVD sú precízne vyrobené rúrkové komponenty s rovnomerným a hustým CVD SiC povlakom. Rúry pece Semicorex pre LPCVD, špeciálne navrhnuté pre pokročilý proces chemického nanášania pár pri nízkom tlaku, sú schopné poskytnúť vhodné reakčné prostredie s vysokou teplotou a nízkym tlakom na zlepšenie kvality a výťažku nanášania tenkých vrstiev plátkov.
Čítaj viacOdoslať dopytRúry pece Semicorex CVD potiahnuté SiC sú špičkové rúrkové komponenty špeciálne vyrábané pre vysokoteplotné spracovanie polovodičov, ako je oxidácia, difúzia a žíhanie polovodičových doštičiek. Využitím pokročilých technológií spracovania a vyspelých výrobných skúseností sa Semicorex zaviazal dodávať našim váženým zákazníkom presne opracované rúry pece s povlakom CVD SiC s vedúcou kvalitou na trhu.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Process Rúrky sú vyrobené z vysoko čistej SiC keramiky s CVD SiC povlakom, sú vhodné pre horizontálne pece v Semiconductor. Vzhľadom na kvalitu produktov a popredajný servis je Semicorex tým, kto chce s našimi celosvetovými zákazníkmi obchodovať vo vysokej kvalite.*
Čítaj viacOdoslať dopyt