Ako profesionálny výrobca by sme vám radi poskytli polovodičové komponenty. Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokej teplote a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Komponenty potiahnuté SiC s vysokou čistotou sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od grafitového spotrebného materiálu pre horúce zóny pestovania kryštálov (ohrievače, susceptory téglikov, izolácie) až po vysoko presné grafitové komponenty pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako sú grafitové susceptory potiahnuté karbidom kremíka pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva grafitovú konštrukciu potiahnutú vysoko čistým karbidom kremíka (SiC), ktorý poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Koncový efektor →
Koncový efektor je ruka robota, ktorá pohybuje polovodičovými plátkami medzi polohami v zariadení na spracovanie plátkov a nosičmi.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
SemiCorex Wafer Edge Grinding Chuck je keramický disk vyrobený z vysokokvalitného bieleho hlinitého, navrhnutý pre brúsenie okrajov do oblátky vo výrobe polovodičov. Výber SemiCorex zaisťuje vynikajúcu kvalitu materiálu, presné inžinierstvo a spoľahlivý výkon, ktorý podporuje najnáročnejšie prostredie spracovania doštičiek.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Porézne hlinitého hlinitého skľučovku sú mikroporézne čierne vákuové svietidlo s 35–40% pórovitosťou, ktoré je určené na zabezpečenie rovnomerného sacieho a bezpečného manipulácie s oblátkami vo výrobe polovodičov. Výber SemiCorex znamená spoľahlivé keramické inžinierstvo, vynikajúca kvalita materiálu a konzistentný výkon, ktorý chráni výnos a stabilitu procesu.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemiCorex AL2O3 vákuové skľučovky sú mikroporézne keramické adsorpčné príslušenstvo vyrobené z čierneho hlinitého s pórovitosťou 35–40%, špeciálne navrhnuté na manipuláciu s oblátkami v polovodičových aplikáciách. Výber SemiCorex znamená úžitok z pokročilých keramických technológií, presného inžinierstva a spoľahlivej kvality výrobkov, ktoré zabezpečujú stabilný výkon v náročných prostrediach čistých miestností.*
Čítaj viacOdoslať dopytKeramické rameno Semicorex Alumina je vysokokvalitný robotický komponent určený pre presné a bez kontaminácie manipulácie s oblátkami bez kontaminácie vo výrobe polovodičov. Výber Semicorexu zaisťuje nielen pokročilú kvalitu materiálu pre keramický materiál z hlinitého, ale aj presné remeselné spracovanie, ktoré zaručuje trvanlivosť, čistotu a spoľahlivosť v kritických procesných prostrediach.*
Čítaj viacOdoslať dopytVstupné krúžky SemiCorex SIC sú vysoko výkonné komponenty karbidu kremíka navrhnuté pre zariadenia na spracovanie polovodičov, ktoré ponúkajú výnimočnú tepelnú stabilitu, chemický odpor a presné obrábanie. Výber SemiCorex znamená získať prístup k spoľahlivým, prispôsobeným a bez kontaminácie, ktorým dôverujú poprední výrobcovia polovodičov.*
Čítaj viacOdoslať dopytArm Semicorex SIC je vysokokvalitný komponent karbidu kremíka navrhnutý pre presnú manipuláciu s oblátkami a polohovanie vo výrobe polovodičov. Výber Semicorexu zaisťuje neprekonateľnú spoľahlivosť materiálu, chemický odpor a presné inžinierstvo, ktoré podporujú najnáročnejšie polovodičové procesy.*
Čítaj viacOdoslať dopyt