Prívodné krúžky plynu sa používajú na zakrytie okraja a obvodu plátku, chránia kritické komponenty komory, čím vytvárajú čisté, inertné a chránené prostredie a predlžujú ich životnosť v nanášacích komorách, takže sú počas nanášania alebo spracovania plátkov vystavené plazme a vysokej teplote , takže vysoká odolnosť plazmy a vysoká čistota sú rozhodujúce pre konečný výťažok plátku.
Krúžky s povlakom Semicorex CVD SiC navrhnuté špeciálne pre tieto náročné aplikácie epitaxných zariadení.
Vstupné krúžky SemiCorex SIC sú vysoko výkonné komponenty karbidu kremíka navrhnuté pre zariadenia na spracovanie polovodičov, ktoré ponúkajú výnimočnú tepelnú stabilitu, chemický odpor a presné obrábanie. Výber SemiCorex znamená získať prístup k spoľahlivým, prispôsobeným a bez kontaminácie, ktorým dôverujú poprední výrobcovia polovodičov.*
Čítaj viacOdoslať dopyt