Počas spracovania sa polovodičové doštičky musia zahrievať v špecializovaných peciach. Reaktor obsahuje podlhovasté valcové rúrky, v ktorých sú doštičky umiestnené na doštičkových člnoch vo vopred určených, rovnako vzdialených vzdialenostiach. Aby sa prežili podmienky spracovania v komore a aby sa minimalizoval odpad do plátkov zo spracovateľského zariadenia, oblátkové člny a mnohé ďalšie iné zariadenia používané pri spracovaní plátkov sú vyrobené z materiálu, ako je karbid kremíka (SiC).
Člny, naložené dávkou oblátok, ktoré sa majú spracovať, sú umiestnené na dlhých konzolových lopatkách, pomocou ktorých môžu byť vložené do rúrových pecí a reaktorov a vyťahované z nich. Lopatky obsahujú sploštenú nosnú časť, na ktorej môže byť umiestnená jedna alebo viacero člnov, a dlhú rukoväť, umiestnenú na jednom konci sploštenej nosnej sekcie, pomocou ktorej je možné s lopatkou manipulovať.
Konzolová lopatka sa odporúča použiť rekryštalizovaný karbid kremíka s tenkou vrstvou CVD SiC, ktorý je vysoko čistý a je najlepšou voľbou pre komponenty pri spracovaní polovodičov.
Semicorex môže poskytnúť prispôsobené služby podľa výkresov a pracovného prostredia.
Semicorex High Purity SiC Cantilever Lopatka je vyrobená z vysoko čistej spekanej SiC keramiky, ktorá je konštrukčnou súčasťou v horizontálnej peci v polovodiči. Semicorex je skúsená spoločnosť, ktorá dodáva komponenty SiC v polovodičovom priemysle.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Ceramic Paddle je vysoko čistý konzolový komponent navrhnutý pre polovodičové vysokoteplotné pece, primárne používaný v oxidačných a difúznych procesoch. Výber Semicorex znamená získanie prístupu k pokročilým keramickým riešeniam, ktoré zaisťujú výnimočnú stabilitu, čistotu a odolnosť pre kritické aplikácie pri manipulácii s plátkami.*
Čítaj viacOdoslať dopytLopatky Semicorex SiC sú vysoko čisté konzolové rameno z karbidu kremíka určené na prepravu plátkov vo vysokoteplotných oxidačných a difúznych peciach nad 1000 ℃. Výber Semicorex znamená zabezpečenie výnimočnej kvality materiálu, precízneho inžinierstva a dlhodobej spoľahlivosti, ktorej dôverujú poprední výrobcovia polovodičov.*
Čítaj viacOdoslať dopyt