Počas spracovania sa polovodičové doštičky musia zahrievať v špecializovaných peciach. Reaktor obsahuje podlhovasté valcové rúrky, v ktorých sú doštičky umiestnené na doštičkových člnoch vo vopred určených, rovnako vzdialených vzdialenostiach. Aby prežili podmienky spracovania v komore a minimalizovali odpad do plátkov zo spracovateľského zariadenia, oblátkové člny a mnohé ďalšie iné zariadenia používané pri spracovaní plátkov sú vyrobené z materiálu, ako je karbid kremíka (SiC).
Člny, naložené dávkou oblátok, ktoré sa majú spracovať, sú umiestnené na dlhých konzolových lopatkách, pomocou ktorých môžu byť vložené do rúrkových pecí a reaktorov a vyťahované z nich. Lopatky obsahujú sploštenú nosnú časť, na ktorej môže byť umiestnená jedna alebo viacero člnov, a dlhú rukoväť, umiestnenú na jednom konci sploštenej nosnej sekcie, pomocou ktorej je možné s lopatkou manipulovať.
Konzolová lopatka sa odporúča použiť rekryštalizovaný karbid kremíka s tenkou vrstvou CVD SiC, ktorý je vysoko čistý a je najlepšou voľbou pre komponenty pri spracovaní polovodičov.
Semicorex môže poskytnúť prispôsobené služby podľa výkresov a pracovného prostredia.
Konzolová lopatka Semicorex SiC (karbid kremíka) je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych peciach alebo peciach LPCVD (nízkotlakové nanášanie chemických pár) počas procesov ako difúzia a RTP (Rapid Thermal Processing). Konzolová lopatka SiC má bezpečne niesť polovodičové doštičky v procesnej trubici počas rôznych vysokoteplotných procesov, ako je difúzia a RTP. Slúži na podopieranie a prepravu plátkov v procesnej rúre týchto pecí. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytKonzolová lopatka z karbidu kremíka Semicorex je špecializovaný komponent používaný v peciach na rôzne aplikácie tepelného spracovania. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeľká zaťažovacia sila plátku keramická konzolová lopatka z karbidu kremíka SiC je vhodná pre automatický systém nakladania a manipulácie robota, pretože má stabilný výkon, nedeformuje sa pri vysokej teplote a veľkú zaťažovaciu silu plátku. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt