Palacinkový susceptor, guľatý tvar nosiča plátku používaný pri spracovaní polovodičov.
Epitaxia je kľúčovým krokom v spracovaní polovodičov, pri ktorom dochádza k rastu epitaxnej vrstvy na polovodičových doštičkách, v ktorých sú doštičky nesené na grafitových susceptoroch. Kvalita grafitových susceptorov je kľúčovým faktorom pre kvalitu epi doštičiek.
Grafitové susceptory s povlakom z karbidu kremíka
Semicorex dodáva susceptory a komponenty pre všetky epitaxné reaktory, vrátanesudové susceptorya palacinkové susceptory. Používame vysoko čistý grafit a CVD SiC povlak.