Veká komôr sa používajú na vytvorenie čistého, inertného a chráneného prostredia v nanášacích komorách, takže sú počas procesu nanášania alebo leptania vystavené plazme a vysokej teplote. Kryty komôr Semicorex sú odolné keramické komponenty potiahnuté karbidom kremíka metódou chemického nanášania pár (CVD), ktoré skvele odolajú týmto náročným prostrediam.
Semicorex SIC veko je vysoko čistota komponentov kremíkových karbidov navrhnutých pre extrémne prostredie spracovania polovodičov. Výber SemiCorex znamená zabezpečenie neprekonateľnej kvality materiálu, presného inžinierstva a vlastných riešení, ktorým dôverujú poprední výrobcovia polovodičov na celom svete.*
Čítaj viacOdoslať dopyt