Veká komôr sa používajú na vytvorenie čistého, inertného a chráneného prostredia v nanášacích komorách, takže sú počas procesu nanášania alebo leptania vystavené plazme a vysokej teplote. Kryty komôr Semicorex sú odolné keramické komponenty potiahnuté karbidom kremíka metódou chemického nanášania pár (CVD), ktoré skvele odolajú týmto náročným prostrediam.