Hlavňové susceptory sú kritickým komponentom používaným v rôznych procesoch výroby polovodičov, ako sú LPE, MOCVD. Semicorex nanáša karbid kremíka vysokej čistoty v tenkých vrstvách na grafit pomocou procesu chemického vylučovania z plynnej fázy (CVD), vďaka čomu je tento materiál polovodičovej triedy s vynikajúcou tepelnou stabilitou, chemickou odolnosťou a odolnosťou proti opotrebovaniu, vďaka čomu sú ideálne na použitie vo vysoko teplotné procesy.
● Vysoko čistý grafit potiahnutý SiC
● Vynikajúca tepelná odolnosť a chemická odolnosť
● Vysoká tepelná rovnomernosť
● Vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu