Polovodičové keramické diely

Keramické časti polovodičov patria k pokročilej keramike a sú nevyhnutnou súčasťou procesu výroby polovodičov. Suroviny na prípravu sú obvykle s vysokou čistotou, ultrafínované anorganické materiály, ako je oxid hlinitý, karbid kremíka, nitrid hlinitý, nitrid kremíka, oxid ytrium, oxid zirkónia atď.

Oxid hliníka

Všeobecne sa používa a výkonnosť produktu sa líši v závislosti od čistoty. Čistota 95% je svetlo žltá a 99% čistota je snehová biela. Má vynikajúcu tuhosť, pevnosť, odolnosť proti opotrebeniu, vysokú teplotu odolnosť a odolnosť proti korózii a môže sa použiť na prípravu väčšiny polovodičových keramických častí, ako sú keramické dýzy, keramické ramená atď.

Karbid kremíka

Je čierna, má vysokú tepelnú vodivosť, vysokú pevnosť a tvrdosť, ľahkú hmotnosť, dobrý odolnosť proti nárazom a často sa používa na prípravu vákuových ramien a vákuových prísaviek.

Hliníkový nitrid

Má vysokú tepelnú vodivosť, koeficient tepelnej expanzie, ktorý zodpovedá kremíku, nízku dielektrickú konštantu a dielektrickú stratu a môže sa použiť na výrobu substrátov rozptylu tepla, keramických trysiek atď.

Kremík

Vysoký bod topenia, ultra vysoká tvrdosť, vysoká chemická inerta, koeficient s nízkym tepelným expanziou, vysoká tepelná vodivosť, dobrý odolnosť proti tepelnému nárazu, odpor s vysokým nárazom a pevnosť pod 1200 ℃, často používaná na výrobu keramických substrátov, keramických skúmaviek, atď.

Oxid Ytria

Vysoký bod topenia, dobrá chemická a fotochemická stabilita, vysoká tepelná vodivosť, dobrá priepustnosť svetla, často v kombinácii s aluminou na výrobu keramických okien.

Oxid zirkónium

Vysoká mechanická pevnosť, odolnosť proti vysokej teplote, kyselina a alkalická odolnosť, dobrá izolácia, podľa rôznych obsahov, sa môže vyrobiť z keramických výrobkov na rôzne účely, ako sú integrované obvodové substráty atď.

Typy častí:

Keramické diely „všestranné“ keramické diely s rôznymi funkciami sa bežne používajú v rôznych typoch kľúčových zariadení polovodičov, ktoré zahŕňajú najmä nasledujúce:

Keramické rameno

Pri preprave doštičiek hrá úlohu v polovodičových zariadeniach a musí pracovať vo vákuovom čistom prostredí. Alumina sa zvyčajne pripravuje s vysokou čistotou hlinitého alebo karbidu kremíka, je nákladovo efektívny a používa sa viac.

Keramický substrát

Aplikuje sa na rôzne elektronické obalové polia, ako sú elektronické zariadenia, lasery atď., A často sa pripravujú s materiálmi, ako je hlinitého a kremíkový nitrid.

Keramická dýza

V HDP-CVD ovplyvňuje jeho kvalita čistotu a prietok reakčného plynu. Keramika nitridu hliníka je vhodnejšia pre pokročilé procesné vybavenie kvôli ich vynikajúcemu výkonu.

Keramické okno

Je to kľúčová súčasť ETCONDUCTOR ETCHER. Môže byť vákuum utesnená bez ovplyvnenia prenikania plazmy. Zvyčajne sa vyrába z vysokokvalitného oxidu hlinitého a oxidu YTRIU.

Keramická komora

Je kľúčovou súčasťou zariadenia na ukladanie tenkého filmu, ktorá je rozhodujúca na zabezpečenie kvality oblátky a utesnenia reakčnej komory.

Keramický vákuum

Používa sa na umiestnenie a upevnenie kremíkovej oblátky. Je to pórovitá keramika vyrobená z dvoch keramických materiálov.

Proces prípravy:

Proces prípravy polovodičových keramických častí „remeselného spracovania“ je komplikovaný, najmä vrátane nasledujúcich krokov:

Príprava prášku

Suroviny sa musia prepracovať a surový prášok, ktorý spĺňa požiadavky, sa získava dávkovaním, mechanickým mletím guľôčok, sušením rozprašovaním a inými procesmi.

Formovanie prášku

Suché lisovanie, izostatické lisovanie, odlievanie pásky, vstrekovanie, formovanie vstrekovania gélu a iné metódy sa bežne používajú na výrobu prášku do keramického zeleného tela.

Spekanie vysokej teploty

Keramické zelené telo sa transformuje na husté uvarené telo prostredníctvom normálneho tlakového spekania, vákuového spekania, spekania atmosféry a iných metód.

Precízne obrábanie

Spekané keramické varené telo je spracované s CNC sústruhami, brúskami atď., Aby sa dosiahla požadovaná veľkosť a presnosť.

Kontrola kvality

Vzhľad, veľkosť, pórovitosť, drsnosť a ďalšie vlastnosti keramických častí sa testujú, aby sa zabezpečila kvalita produktu.

Ošetrenie povrchom

Povrch výrobkov, ktoré prechádzajú kontrolou kvality, sa vyčistí a pre špeciálne potreby sa vyžaduje ďalšie povrchové ošetrenie, ako je oblúkové postreky, postrek plazmy atď.

Semicorex ponúka vysokokvalitnúkeramické dielyv polovodiče. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte a kontaktujte nás.

Kontakt Telefón # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com