Domov > Správy > Správy z priemyslu

Vodivé ohrievače grafitov

2025-07-04

Tenvodivé ohrievač grafitovje nový produkt určený pre vysokoteplotné polovodičové spracovanie a ďalšie vákuové tepelné systémy. Využíva dobrú tepelnú stabilitu grafitu s vysokou čistotou a vynikajúce povrchové charakteristiky povlaku karbidu kremíka (SIC). Vodivé ohrievač grafitov sa ďalej diferencuje jeho vrstvou SIC dotkovanou dusík, ktorá ponúka výrazne vylepšenú povrchovú vodivosť, vďaka čomu je obzvlášť vhodná pre aplikácie, ktoré potrebujú kontrolované a dokonca aj zahrievanie s veľkým elektrickým výkonom.


Ohrievač je skonštruovaný s vysokopevnostným grafitovým substrátom, ktorý pôsobí ako základný štrukturálny a tepelný vodič. Grapit bol vybraný, konkrétne vzhľadom na vysokú úroveň tepelnej vodivosti, nízky koeficient tepelnej expanzie a odolnosť voči tepelnému šoku. Tieto charakteristiky robia z grafitu vhodný základný materiál v aplikáciách s vysokou teplotou, kde môžu dôjsť k rýchlemu zahrievaniu a chladiacim cyklom. Samotný nedotknutý grafit je však v určitej atmosfére chemicky reaktívny a počas predĺženého používania môže zažiť poškodenie povrchu alebo degradáciu, emisie častíc alebo prenos, najmä v prostrediach čistiacej miestnosti polovodičov.


Na prekonanie týchto obmedzení je grafitová časť potiahnutá hrubou, vysokou úrovňou SIC vrstvy. Poter SIC slúži viacerým funkciám: poskytuje úroveň ochrany pred oxidáciou a chemickou koróziou, poskytuje veľmi tvrdý povrch odolný voči opotrebovaniu a zaisťuje kompatibilitu so štandardmi vákua a čistých miestností. SIC má povesť extrémnej tvrdosti, vysokej tepelnej vodivosti a chemickej inerte; Z tohto dôvodu je to vynikajúci materiál poťahovania pre vysokovýkonné tepelné komponenty.


Unikátnou inováciou tohto produktu je doping dusíka do povlaku SIC. Počas procesu ukladania chemickej pary (CVD) sú atómy dusíka zakotvené do mriežky SIC, ktoré vytvárajú voľné nosiče, ktoré môžu dramaticky znížiť jeho povrchový odpor, a preto vytvárajú vodivú povrchovú vrstvu a umožňujú priamym prúdom prúdu, a nie pomocou prístupového bodu, a tým umožňujú celú grafitovú zložku pôsobiť ako odolný vykurovací prvok.


KlasickýNáter SICsú inzulatívne, čo ich skutočne obmedzuje v rozsahu aktívnych elektrických aplikácií. Naopak, vrstva SIC dotknutá dusíkom na ohrievači má extrémne nízky povrchový odpor, pričom stále zachováva všetky mechanické a chemické výhody klasického SIC. Vodivú vrstvu poskytuje veľmi dobrú súčasnú jednotnosť a minimalizuje stratu energie a zároveň zlepšuje tepelné rozloženie na povrchu ohrievača. Je obzvlášť ideálny na aplikácie presného zahrievania za podmienok často spojených s epitaxnými reaktormi, difúznymi peciami a zariadeniami s rýchlym tepelným spracovaním (RTP).


Geometria ohrievača, typicky špirálovej alebo hadie, ako je znázornené na obrázku, je navrhnutá a optimalizovaná s úmyslom produkovať rovnomernú energiu tepelného výstupu a rovnomerné elektrické zaťaženie. S integrovaným návrhom grafitového a vodivého povlaku SIC sa môžu elektrické kontakty uskutočniť priamo na potiahnutého povrchu, čo eliminuje potrebu akýchkoľvek ďalších elektród alebo kovového pripojenia. To znižuje riziká kontaminácie a vedie k jednoduchšej zostave. V dôsledku toho sa zlepšuje celková účinnosť.


Kľúčové výhody vodivostiOhrievač grafitov potiahnutých SICZahrnúť:


Vynikajúca elektrická vodivosť v dôsledku dopingu dusíka, čo umožňuje prietok s priamym prúdom a účinné odporové zahrievanie.

Vynikajúca tepelná uniformita s presnou reguláciou teploty v celej ploche povrchu.

Vysoká chemická rezistencia, najmä v korozívnych prostrediach, ako je vodík, amoniak alebo atmosféra bohaté na halogén.

Minimálna tvorba častíc, splnenie prísnych požiadaviek na čistotu polovodičovej výroby.

Rozšírená životnosť v dôsledku mechanickej trvanlivosti a odolnosti proti tepelnému šoku z grafitového jadra a povlaku SIC.


Aplikácie pre tento ohrievač rozširujú v mnohých priemyselných odvetviach pokročilých technológií. Ohrievač nájde miesto vo výrobných procesoch polovodičov, ako je chemická depozícia pary (CVD), epitaxia molekulárneho lúča (MBE) a žíhanie doštičiek, kde je kritická presná kontrola teploty a čistota materiálov. Ohrievač s grafitmi potiahnutými SIC sa môže použiť aj pri fotovoltaickej výrobe, spekaní pokročilej keramiky a v iných tepelných procesoch, kde sú potrebné vyšší výkon, trvanlivosť a robustné ohrievače.


Stručne povedané, vodivé SIC potiahnuté grafitové ohrievač je pôsobivým pokrokom pri vývoji tepelných komponentov. Použitím povlaku SIC dopované dusíkmi sme vyvinuli efektívny tepelný produkt, ktorý úspešne kombinuje chemickú stabilitu povlaku SIC s elektrickou vodivosťou. Výroba tepelného procesu, ktorý je efektívnejší, čistejší a spoľahlivejší pre najnáročnejšie priemyselné aplikácie. Polovodičové a materiálové odvetvia čelia pokračujúcim zmenám a hybridné materiály tohto druhu sa stanú čoraz dôležitejšími pri umožnení budúcim pokročilejším technológiám výroby.






Semicorex ponúka vysokokvalitnúGrafitové ohrievače s povlakomvýrobky. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte a kontaktujte nás.


Kontakt Telefón # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com



X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept