Kremíková karbidová čln

Za každým vysokoteplotným procesom v výrobe doštičiek leží tichý, ale rozhodujúci hráč: čln s oblátkami. Ako hlavný nosič, ktorý priamo kontaktuje kremíkovú oblátku počas spracovania doštičiek, jeho materiál, stabilita a čistota priamo súvisia s konečným výnosom a stabilitou procesu. Medzi rôznymi nosičmi,kremíkový karbid (sic)Lode postupne nahrádzajú tradičné riešenia Quartz a stávajú sa preferovaným riešením pre pokročilé procesy a špičkové vybavenie.

Prečo SIC Wafer Boats?

S rozvojom procesných uzlov pod 7nm a rozširovaním vysokoteplotných okien procesu sa tradičné člnové člny z kremenných doštičiek čoraz viac bojujú, pokiaľ ide o tepelnú stabilitu, kontrolu častíc a správu životnosti.

Kremíkové karbidové lode z karbidu však postupne získavajú významnosť kvôli nasledujúcim výhodám:

1.Stabilné pri vysokých teplotách:

Ponúkajú dlhodobé prevádzkové teploty 1350-1600 ° C, ktoré ľahko spracúvajú hlavné procesy, ako je CVD, difúzia a žíhanie. Dokonca aj stručná expozícia teplotám 1800 ° C nevykazuje zmäkčenie ani deformáciu, čo ich robí vhodnými pre zariadenia vyššej kategórie, ako sú napríklad jednorazové karbidové pece.

2. Rozšírenie a vysoká stabilita tepelného šoku:

S nízkym koeficientom tepelnej expanzie môžu odolávať zvýšeniu a zníženiu rýchleho teploty, čím sa minimalizuje štrukturálne krakovanie spôsobené tepelným napätím. Udržiavajú vynikajúcu morfológiu a výkonnosť vo vysokoteplotnej komplexnej atmosfére (ako je vodík, dusík, amoniak a fluoridy).

3. Klórny povrch a extrémne nízka kontaminácia:

Vysoká čistota materiálu s minimálnymi nečistotami kovov. Nízka drsnosť povrchu, ktorá bráni sekundárnej kontaminácii kremíkových doštičiek; Vynikajúca kontrola drsnosti povrchu, s RA pod 0,1 μm, potláča odlupovanie častíc a spĺňa požiadavky na čistenie pokročilých procesov;

4. Jednodielne formovanie, Presne-chrapované štruktúry lodí na oblátky sa môžu priamo formovať bez formy bez formy3D tlač, eliminovanie potreby plesní, výrazne zlepšenie účinnosti prispôsobenia; V kombinácii s päťosovým obrábaním a technológiou rezania drôtu sú zuby lode bez prasknutia, bránia škrabancom na doštičkách a zabezpečujú hladkú automatizovanú manipuláciu;

5. Vysoká sila a dlhý život: 

Jedna loď sa môže pochváliť pevnosťou s vysokým obsahom zaťaženia a môže súčasne podporovať desiatky až stovky 12-palcových doštičiek. V porovnaní s tradičnými kremeňovými loďami je priemerná životnosť lode 5-10-krát dlhšia, čím sa znižuje frekvencia vymenenia zariadenia a celkové náklady na vlastníctvo.

Aplikačný scenár

Široká prispôsobivosťkremíkové karbidové lodeRozširuje svoju aplikáciu nad rámec polovodičového poľa na rôzne scenáre procesu s vysokým teplotou vrátane nových energetických materiálov, LED výroby a výskumu jadrovej energie.

Polovodičový priemysel

Je vhodný pre kľúčové procesy, ako je oxidácia, difúzia, ukladanie CVD a implantácia iónov, čo z neho robí nevyhnutný vysokoteplotný nosič pre procesné vedenia sub-7nm.

Fotovoltaický priemysel

V rozvíjajúcich sa batériových technológiách, ako sú TopCon a HJT, sa lode s oblátkami používajú vo vysokoteplotných procesoch pece, ako je LPCVD a žíhanie, čo pomáha zlepšovať energetickú účinnosť a mieru konverzie.

Polovodičy tretej generácie

V prípade procesov Epitaxického rastu GAN a SIC v LED diódach podporujú substráty karbidu Sapphire alebo Silicon. Vydávajú korozívne plyny, ako sú NH₃ a HCL, podporujú výrobu vysokofrekvenčných energetických zariadení.

Nové energetické materiály a výskum vysokej teploty

Podporuje spekajúcu reakciu materiálov katód lítium a tepelné spracovanie materiálov jadrového priemyslu, ktorá kombinuje tepelný odpor, odolnosť proti korózii a čistotu.

SemiCorex ponúka vysokú bezpečnosťPrispôsobené lode s oblátkami SIC. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte a kontaktujte nás.

Kontakt Telefón # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com