Prečo si vybrať grafitové susceptory potiahnuté SiC?

Grafitový suceptorje jednou zo základných častí zariadenia MOCVD, je nosičom a ohrievačom substrátu plátku. Jeho vlastnosti tepelnej stability a tepelnej rovnomernosti hrajú rozhodujúcu úlohu v kvalite epitaxného rastu plátku, ktorý priamo určuje rovnomernosť a čistotu vrstvových materiálov, v dôsledku čoho jeho kvalita priamo ovplyvňuje prípravu epitaxie. Medzitým s nárastom počtu použití a zmenami pracovných podmienok sa veľmi ľahko stráca a patrí medzi spotrebný materiál. Vynikajúca tepelná vodivosť a stabilita grafitu z neho robí dobrú výhoduzákladný komponent pre zariadenie MOCVD. Ak sa však použije iba čistý grafit, bude čeliť určitým problémom. Vo výrobnom procese bude korozívny plyn a kovové organické zvyšky a grafitová základňa bude korodovať a vypadávať prášok, čo výrazne znižuje životnosťgrafitový susceptor, a vypadnutý grafitový prášok tiež spôsobí znečistenie čipu, takže v procese prípravy podkladu aj Tieto problémy je potrebné vyriešiť pri príprave podkladu. Technológia povrchovej úpravy môže poskytnúť povrchovú fixáciu prášku, zvýšiť tepelnú vodivosť a vyrovnať distribúciu tepla, čo sa stáva hlavnou technológiou na vyriešenie tohto problému. Hlavnou technológiou je vyriešiť tento problém. Podľa prostredia aplikácie a požiadaviekgrafitové susceptory, povrchový náter by mal mať nasledujúce vlastnosti.

Vysoké hustoty a plné balenie: grafitový základ ako celok je vo vysokoteplotnom, korozívnom pracovnom prostredí, povrch musí byť úplne zabalený, zatiaľ čo povlak musí mať dobrú hustotu, aby mohol hrať dobrú ochrannú úlohu.

Dobrá rovinnosť povrchu: Keďže grafitový základ používaný na rast monokryštálov vyžaduje veľmi vysokú rovinnosť povrchu, pôvodná rovinnosť podkladu musí byť zachovaná aj po príprave náteru, t.j. povrch náteru musí byť jednotný.

Dobrá pevnosť spoja: Zníženie rozdielu koeficientu tepelnej rozťažnosti medzi grafitovou základňou a náterovým materiálom môže účinne zlepšiť pevnosť spoja medzi nimi a náter nie je ľahké prasknúť po tepelných cykloch pri vysokých a nízkych teplotách.

Vysoká tepelná vodivosť: Vysoko kvalitný rast triesok vyžaduje rýchle a rovnomerné teplo z grafitovej základne, takže náterový materiál by mal mať vysokú tepelnú vodivosť.

Vysoká teplota topenia, vysokoteplotná oxidácia a odolnosť proti korózii: Povlak by mal byť schopný pracovať stabilne vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.