Povrchová úprava pre špičkové elektrostatické skľučovadlo

Theelektrostatické skľučovadlov oblasti výroby polovodičov vykonáva viacero funkcií, ako je rovnomerný elektrostatický výboj, vedenie tepla a adsorpcia a fixácia plátkov. Jednou z hlavných funkcií ESC je stabilná adsorbcia plátkov v extrémnych prevádzkových podmienkach, ako je vysoké vákuum, silná plazma a široký teplotný rozsah.

To, čo skutočne určuje ich výkon, nie je vonkajšia štruktúra alebo vzorec základného materiálu, ale proces povrchovej úpravy. Bez profesionálnej povrchovej úpravy sa počas prevádzky vyskytnú nasledujúce problémy:

1. Plazmová erózia a kontaminácia kovovými iónmi

Nechránené keramické povrchy sú citlivé na plazmovú eróziu pri leptaní alebo procese CVD. Tento typ erózie môže priamo viesť k uvoľneniu kovových iónov alebo k odlupovaniu keramických častíc, čím sa kontaminuje plátok.

2. Nerovnomerná tepelná vodivosť a deformácia deformácie

Drsné povrchy alebo zlé ošetrenie majú za následok nerovnomerný kontakt medzi plátkom a plátkomESC, ktoré bránia vedeniu tepla a ovplyvňujú jednotnosť CD.

3. Nestabilná elektrostatická adsorpcia

Nepresná kontrola výkonu povrchovej izolácie alebo vodivosti elektrostatického skľučovadla môže ľahko viesť k nedostatočnej adsorpčnej sile alebo nadmernej adsorpcii, čo v konečnom dôsledku priamo ovplyvňuje výťažok spracovania plátkov.

Povrch špičkových ESC často využíva dizajn kompozitnej viacvrstvovej štruktúry, ktorá presne reguluje funkčné oblasti prostredníctvom povlakov, aby sa dosiahla skutočná vysokovýkonná integrácia.

Bežné technológie povrchovej úpravy špičkových ESC:

1. Fluórpolymérové ​​nelepivé povlaky (ako PTFE a PFA)

Tento druh povlaku je vhodný najmä pre prostredie s nízkymi teplotami, pretože má nízku povrchovú voľnú energiu, ktorá účinne zabraňuje adsorpcii zvyškov fotorezistu.

2. Povlaky Diamond-like Carbon (DLC).

S vysokou tvrdosťou, odolnosťou voči plazme a nízkym koeficientom trenia sú vhodné na aplikácie proti erózii a odlučovaniu častíc v leptacích zariadeniach.

3. PVD vodivé keramické filmy (ako CrSiN a TiN)

Tento typ povlaku môže vytvoriť stabilnú vodivú dráhu v špecifickej oblasti, a tým sa účinne vyhnúť problémom s lokálnou akumuláciou náboja precíznou kontrolou rovnomerného výboja povrchových nábojov.

4. Kompozitné tepelne vodivé povlaky (ako diamantový prášok a hybridný povlak z fluórpolyméru)

Tento druh povlaku kombinuje nelepivé vlastnosti s tepelnou vodivosťou a jeho celkový výkon môže presne zodpovedať aplikačným požiadavkám vysoko presného tepelného regulátora ESC.