Aká je funkcia zaostrovacích krúžkov?

Ohniskové krúžky sú základnými komponentmi na zabezpečenie rovnomernosti a stability procesov leptania polovodičov. Prostredníctvom presného ovládania elektrických a tepelných polí môžu zaostrovacie krúžky koncentrovať plazmu na povrchu plátku, čím sa zabezpečia konzistentné výsledky leptania na všetkých miestach plátku.

Funkcie zaostrovacích krúžkov

1. Zlepšite rovnomernosť leptania

V procese leptania môžu zaostrovacie krúžky koncentrovať plazmu naoblátkapovrch, ktorý účinne zaručuje rovnomernú hustotu plazmy, uhol bombardovania iónmi a úrovne energie v okrajových aj stredových oblastiach plátku. Korigujú distribúciu elektrického poľa na okraji plátku, znižujú rýchlosť leptania, kritické rozmery a morfologické variácie spôsobené efektmi hrán, čím zabezpečujú konzistenciu leptania na celom povrchu plátku. Ak je zaostrovací krúžok nadmerne opotrebovaný alebo neexistuje žiadny ohniskový krúžok, plazma bude difundovať z okraja plátku, čo v konečnom dôsledku spôsobí nezhodné odchýlky v šírke čiary medzi okrajovými a stredovými oblasťami.

2. Chráňte elektrostatické skľučovadlo

Ohniskové krúžky sú zvyčajne inštalované mimo povrchu nosiča plátku elektrostatických skľučovadiel, priamo vystavené plazmovému bombardovaniu a korózii. Toto nastavenie na splátky slúži ako fyzická bariéra na zabránenie kontaktu plazmy s elektrostatickými skľučovadlami počas procesu leptania, čím sa výrazne znižuje riziko poškodenia plazmy. Ohniskové krúžky môžu tiež zabrániť tomu, aby sa vedľajšie produkty vznikajúce počas procesu leptania prilepili na elektrostatické skľučovadlá, čím sa zabráni zhoršeniu výkonu spôsobenému kontamináciou a upchávaním skľučovadla. Tým sa výrazne predlžuje cyklus údržby a životnosť elektrostatických skľučovadiel, čím sa znižujú náklady na údržbu a výmenu zariadenia.

Zaostrovacie krúžky sa bežne vyrábajú z vysoko čistého materiálukremeň, kremíkaakarbid kremíkamateriálov. Vďaka svojmu vynikajúcemu komplexnému výkonu sa materiály z karbidu kremíka postupne stávajú hlavnou možnosťou pre špičkové procesy leptania. Ako dôveryhodný dodávateľ polovodičových zaostrovacích krúžkov v Číne ponúka Semicorex vysokú kvalituzaostrovacie krúžky z karbidu kremíkarôznych veľkostí, aby vyhovovali rôznym požiadavkám leptacieho zariadenia. Semicorex víta vaše otázky a nákupy kedykoľvek.