S rozvojom polovodičových a optických technológií,sklenené oblátkyako nový typ sklenených výrobkov sa postupne stávajú doplnkom ku kremíkovým doštičkám a vykazujú veľký potenciál v oblasti špičkových technológií. Čo sú to sklenené oblátky? Sklenené doštičky sú vysokovýkonné kruhové tenké plátky, bežne vyrobené z kremenného skla, skla bez alkálií alebo sklo-kremíkových kompozitov. Vďaka vynikajúcim fyzikálnym a chemickým vlastnostiam zohrávajú nezastupiteľnú úlohu v špičkových výrobných oblastiach, akými sú výroba polovodičov, optika, MEMS, spotrebná elektronika, biomedicína a laboratórny výskum.
Hlavné materiály pre sklenené oblátky
1. Ďaleko-ultrafialové kremenné sklo
Ďaleko-ultrafialovékremeňsklo sa vyrába procesom chemického nanášania pár, kde plynný chlorid kremičitý prechádza reakciou v plynnej fáze v kyslíkovodíkovom plameni za vzniku amorfného oxidu kremičitého, ktorý sa potom ukladá na kremenný substrát, aby sa postupne rozrastal a vytváral. Tento materiál obsahuje veľké množstvo hydroxylových skupín (950-1400 ppm), s malým celkovým množstvom kovových nečistôt menším ako 0,2 ppm. Vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam, ako sú vlastnosti proti žiareniu, optická rovnomernosť a vysoká priepustnosť ultrafialového žiarenia (najmä v oblasti ďalekého ultrafialového žiarenia), je kremenné sklo pre ďaleké ultrafialové žiarenie široko používané v aplikáciách v oblasti optiky pre ďaleké ultrafialové žiarenie.
Rozsiahla aplikácia kremenného skla s ultrafialovým žiarením je však do určitej miery obmedzená faktormi, ako sú pruhové defekty, ktoré sa ľahko vytvárajú počas procesu prípravy, obtiažnosť lisovania veľkých a zložitých výrobkov a relatívne vysoké výrobné náklady.
2. Ultrafialové optické kremenné sklo:
Ultrafialové optické kremenné sklo procesom tavenia plameňom sa vyrába tavením prírodného kryštálu kyslíkovodíkovým plameňom, po ktorom nasleduje nanášanie na povrch terčov z taveného kremičitého skla. Ultrafialové optické kremenné sklo s obsahom hydroxylových skupín 150-400 ppm ponúka výnimočné výhody, ako je vysoká priepustnosť ultrafialového žiarenia, silná chemická stabilita, tepelná stabilita a vysoká mechanická pevnosť. Ultrafialové optické kremenné sklo, ktoré ťaží zo svojho vyspelého výrobného procesu a vysokej nákladovej efektívnosti, je široko používané v elektronickom a polovodičovom priemysle.
Avšak ultrafialové optické kremenné sklo má slabú optickú jednotnosť a môže obsahovať mikroskopické defekty, ako sú strie a mikrobubliny, ktoré by mohli ovplyvniť kvalitu optického zobrazenia a stabilitu laserového prenosu.
3. Infračervené optické kremenné sklo:
Infračervené optické kremenné sklo sa vyrába tavením kryštálového prášku pomocou procesu vákuovej elektrofúzie. Tento materiál má nízky obsah hydroxylových skupín (<5ppm), čo má za následok vynikajúcu priepustnosť infračerveného žiarenia. Vďaka svojej vynikajúcej priepustnosti infračerveného žiarenia, chemickým vlastnostiam vrtu a vysokej mechanickej pevnosti a vyspelej výrobnej technológii sa infračervené optické kremenné sklo široko používa v aplikáciách infračervenej optiky.
Infračervené optické kremenné sklo však obsahuje vysoké kovové nečistoty a poskytuje relatívne nízky prah poškodenia laserom, čo ho robí nevhodným pre laserové aplikácie s vysokou hustotou energie a scenáre vyžadujúce extrémne vysokú priepustnosť ultrafialového svetla.