Vákuové skľučovadlo z pórovitého hliníka

Vákuové skľučovadlo je pripojené k vákuovému zariadeniu pomocou spojovacej rúrky. Keď sa vákuové skľučovadlo dostane do kontaktu s obrobkom, ako je napríklad plátok/tenký filmový materiál, vákuové zariadenie začne pracovať a vytvorí vo vnútri vákuového skľučovadla podtlak. Pod atmosférickým tlakom obrobok pevne priľne k vákuovému skľučovadlu, čo umožňuje spracovanie. Po dokončení spracovania vákuové zariadenie prestane pracovať a pomaly naplní vákuové skľučovadlo plynom, čím sa obrobok automaticky oddelí od skľučovadla. Tým sa dokončí upnutie, spracovanie a manipulácia s obrobkom.

Hlavným cieľom polovodičovej fotolitografie je „vytlačiť“ miliardy vzorov tranzistorových obvodov na doštičku s presnosťou na úrovni nanometrov. Podstatou „fotolitografie“ je použitie svetelného zdroja na ožiarenie vysoko fotosenzitívneho fotorezistu, čo spôsobí chemickú reakciu, ktorá naleptá obvod. Keď však zdroj svetla ožiari plátok, nevyhnutne svieti aj na elektrostatické skľučovadlo, ktoré slúži ako nosič plátku. Výsledné odrazené sekundárne svetlo môže interferovať s procesom fotolitografie, spôsobiť expozíciu v neúmyselných oblastiach a poškodiť obvody. Čierny povrch vákuového skľučovadla preto minimalizuje odrazy a zaisťuje presné požiadavky fotolitografického systému. Na základe tejto schopnosti môže byť čierny oxid hlinitý široko používaný nielen v elektrostatických skľučovadlách, ale aj v scenároch „potláčajúcich svetlo“. Príchod éry AI umožnil významný rozvoj v aplikáciách optickej komunikácie a substráty z čierneho oxidu hlinitého sa často vyskytujú v obaloch optoelektronických zariadení a prvkov vyžarujúcich svetlo.

Čierna keramika z oxidu hlinitéhoje vyrobený predovšetkým z Al2O3 s pridanými oxidmi prechodných kovov ako farbivami a pomocnými spekacími látkami, spekaných pri špecifickej teplote. Farbivo je rozhodujúcou zložkou tohto typu keramiky a určuje jej konečnú farbu. Pri výbere farbív pre vákuové skľučovadlá je nevyhnutné zabezpečiť stupeň farby, mechanickú pevnosť, pórovitosť a veľkosť pórov vákuového skľučovadla.

V súčasnosti bežne používané oxidy prechodných kovov ako farbivá na domácom aj medzinárodnom trhu zahŕňajú Fe203, CoO, NiO, Cr203 a Mn02, pričom najviac prevládajú Fe203, CoO, NiO a Mn02. Pretože oxid hlinitý je pri vysokých teplotách menej prchavý, zatiaľ čo oxidy prechodných kovov sú opačné, ich prchavosť sa zvyšuje s teplotou. Tieto oxidy tvoria pri vysokoteplotnom spekaní zlúčeniny spinelového typu, čo znižuje ich prchavosť. Preto by sa na potlačenie prchavosti oxidov prechodných kovov mali zvoliť vhodné procesné podmienky, ktoré im umožnia spojiť sa do zlúčenín spinelového typu pri nižších teplotách.

Semicorex ponúka cloporézne keramické vákuové skľučovadlo. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte nás kontaktovať.

Kontaktné telefónne číslo +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com