2023-11-10
V polovodičovom priemysle je kremeň široko používaný a výrobky z kremeňa vysokej čistoty sú ešte dôležitejším spotrebným materiálom pri výrobe doštičiek. Pri výrobe kremíkových monokryštálových téglikov, krištáľových člnov, rúrok jadra difúznych pecí a iných kremenných komponentov sa musia používať výrobky z kremenného skla s vysokou čistotou. Kremenné časti v oblasti polovodičov, hlavné cieľové trhové aplikácie pre proces difúzie a leptania doštičiek, možno rozdeliť do dvoch kategórií zariadení s vysokoteplotnou zónou a zariadení s nízkoteplotnou zónou, budú používať tieto hlavné zariadenia:
1) Zariadenia s vysokoteplotnou zónou sú hlavne difúzna oxidácia a ďalšie aspekty použitia rúr pecí, stojanov na sklenené lode atď., Musia byť vo vysokoteplotnom prostredí, priamo alebo nepriamo v kontakte s kremíkovým plátkom; hlavne obstarávanie elektricky tavených kremenných sklenených materiálov vyrobených tepelným spracovaním;
2) Zariadenia s nízkoteplotnou zónou sú hlavne leptané spoje, ako sú kremenné krúžky, ale zahŕňajú aj koše na čistenie, čistiace nádrže atď., Ktoré sa používajú hlavne v prostrediach s nízkou teplotou; nakupovalo sa najmä kremenné sklo na rafináciu plynu prostredníctvom výroby za studena
Medzi nimi zariadenia s vysokoteplotnou zónou spotrebúvajú rýchlejšie, ale podobne ako stroj s viacerými čipmi (nosič na prenášanie viac ako jedného plátku), zariadenia s nízkoteplotnou zónou spotrebúvajú pomalšie, ale monoliticky (nosič na prenášanie plátku) ; preto sú tieto dva celkové veľkosti trhu relatívne blízko seba.