Význam poréznych grafitových materiálov pre rast kryštálov SiC

Komponent pece na rast kryštálov SiC spoločnosti Semicorex,sud z pórovitého grafitu, prinesie tri hlavné výhody a môže efektívne posilniť konkurencieschopnosť domácichSiC substráty:

• Znížiť náklady na komponenty rastu kryštálov SiC;
• Zvýšte hrúbku kryštálu SiC a znížte celkové náklady na substrát;
• Zlepšiť výťažok kryštálov SiC a zvýšiť konkurencieschopnosť spoločnosti.

Pridanie poréznych grafitových plátov do pecí na rast kryštálov SiC je jedným z horúcich miest v priemysle. Bolo dokázané, že vložením aporézny grafitlisty nad zdrojovým práškom SiC sa dosiahne dobrý prenos hmoty v oblasti kryštálov, čo môže zlepšiť rôzne technické problémy existujúce v tradičných peciach na rast kryštálov.

(a) Tradičná pec na rast kryštálov, (b) Pec na rast kryštálov s poréznym grafitovým plechom

Zdroj: Univerzita Dongui, Južná Kórea

Experimenty ukázali, že pri použití tradičných pecí na rast kryštálov majú substráty SiC zvyčajne rôznepolymorfyako je 6H a 15R-SiC, zatiaľ čoSiC substrátypripravené pomocou pecí na rast kryštálov na báze porézneho grafitu majú iba4H-SiC monokryštál. Okrem toho je tiež výrazne znížená hustota mikrotrubíc (MPD) a hustota leptaných jamiek (EPD). MPD dvoch pecí na rast kryštálov je 6-7EA/cm2 a 1-2EA/cm2, čo môže byťznížená až 6-krát.

Semicorex tiež spustil nový proces „jednorazového hromadného prevodu“ založený naporézne grafitové dosky. Porézny grafit má veľmi dobréčistiace schopnosti. Nový proces využíva nové tepelné pole na primárny prenos hmoty, vďaka čomu je účinnosť prenosu hmoty vylepšená a v podstate konštantná, čím sa znižuje vplyv rekryštalizácie (vyhýba sa sekundárnemu prenosu hmoty), čím sa účinne znižuje riziko mikrotubulov alebo iných súvisiacich defektov kryštálov. Okrem toho je porézny grafit tiež jednou zo základných technológií na vyriešenie problému rastu a hrúbky kryštálov SiC, pretože dokáže vyvážiť zložky plynnej fázy, izolovať stopové nečistoty, upraviť lokálnu teplotu a znížiť fyzikálne častice, ako je obal uhlíka. Za predpokladu, že kryštál možno použiť,hrúbka kryštálumožno znížiť. sa môže výrazne zvýšiť.

Technické vlastnostiPorézny grafit Semicorex:

Pórovitosť môže dosiahnuť až 65 %;

Póry sú rovnomerne rozložené;

Vysoká stabilita šarže;

Vysoká pevnosť, môže dosiahnuť ≤ 1 mm ultratenký valcový tvar.

Semicorex ponúka vysokú kvalituporézny grafitčasti. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte nás kontaktovať.

Kontaktné telefónne číslo +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com