Loď z karbidu kremíka

Pri výrobe polovodičov oxidácia zahŕňa umiestnenie plátku do prostredia s vysokou teplotou, kde kyslík prúdi cez povrch plátku a vytvára vrstvu oxidu. To chráni doštičku pred chemickými nečistotami, zabraňuje prenikaniu zvodového prúdu do obvodov, zabraňuje difúzii počas implantácie iónov a zabraňuje skĺznutiu plátku počas leptania, čím sa na povrchu doštičky vytvorí ochranný film. Zariadenie použité v tomto kroku je oxidačná pec. Hlavné komponenty v reakčnej komore zahŕňajú doštičkový čln, základňu, vložkové rúry pece, vnútorné rúry pece a tepelne izolačné usmerňovače. V dôsledku vysokej prevádzkovej teploty sú tiež vysoké požiadavky na výkon komponentov v reakčnej komore.

Theoblátkový člnsa používa ako nosič na prepravu a spracovanie oblátok. Mal by mať výhody ako vysoká integrácia, vysoká spoľahlivosť, antistatické vlastnosti, odolnosť voči vysokej teplote, odolnosť proti opotrebeniu, odolnosť proti deformácii, dobrá stabilita a dlhá životnosť. Keďže teplota oxidácie plátku je približne medzi 800 ℃ a 1300 ℃ a požiadavky na obsah kovových nečistôt v životnom prostredí sú mimoriadne prísne, kľúčové komponenty, ako je napríklad čln, musia mať nielen vynikajúce tepelné, mechanické a chemické vlastnosti, ale aj extrémne nízky obsah kovových nečistôt. Na základe substrátu ich možno rozdeliť na kremenné doštičky, keramické doštičky z karbidu kremíka atď. Avšak s pokrokom procesných uzlov pod 7nm a rozšírením vysokoteplotných procesných okien sa tradičné kremenné lode postupne stávajú nedostatočnými z hľadiska tepelnej stability, kontroly častíc a riadenia životnosti. Lode z karbidu kremíka (SiC) postupne nahrádzajú tradičné kremenné riešenia.

1. Výroba polovodičov

Vo vysokoteplotných procesoch výroby čipov, ako je oxidácia, difúzia, chemická depozícia z pár (CVD) a implantácia iónov, sa SiC člny používajú na podporu kremíkových plátkov, čím sa zaisťuje, že plátky zostanú ploché pri vysokých teplotách a zabraňujú nesprávnemu nastaveniu mriežky alebo deformácii spôsobenej tepelným namáhaním, čím sa zaručuje presnosť a výkon čipu.

2. Fotovoltický priemysel

Keramika z karbidu kremíka má vynikajúcu mechanickú pevnosť, tepelnú stabilitu, odolnosť voči vysokým teplotám, odolnosť proti oxidácii, odolnosť proti tepelným šokom a chemickú koróziu a je široko používaná v populárnych oblastiach, ako je metalurgia, strojárstvo, nová energia a chemikálie pre stavebné materiály. Jeho výkon je dostatočný aj pre tepelné procesy vo fotovoltaickej výrobe, ako je difúzia, LPCVD (nízkotlaková chemická depozícia) a PECVD (plazmová chemická depozícia z pár) pre články TOPcon. V porovnaní s tradičnými kremennými materiálmi ponúkajú keramické materiály z karbidu kremíka používané na výrobu podpier lodí, malých člnov a rúrkových výrobkov vyššiu pevnosť, lepšiu tepelnú stabilitu a nedochádza k deformácii pri vysokých teplotách. Ich životnosť je tiež viac ako päťkrát dlhšia ako v prípade kremeňa, čo výrazne znižuje prevádzkové náklady a straty energie v dôsledku prestojov pri údržbe. Výsledkom je jasná nákladová výhoda a suroviny sú široko dostupné.

3. Polovodičový priemysel tretej generácie

V reakčných komorách s organickou chemickou depozíciou z plynnej fázy (MOCVD) sa člny z karbidu kremíka používajú na podporu zafírových substrátov, ktoré odolávajú prostrediam korozívnych plynov, ako je amoniak (NH3), podporujú epitaxiálny rast polovodičových materiálov tretej generácie, ako je nitrid gália (GaN), a zlepšujú účinnosť svetelných čipov. Pri raste monokryštálov karbidu kremíka slúžia člny karbidu kremíka ako podpery očkovacích kryštálov v rastových peciach karbidu kremíka, ktoré odolávajú vysokoteplotnému korozívnemu prostrediu roztaveného kremíka, poskytujú stabilnú podporu pre rast monokryštálov karbidu kremíka a podporujú prípravu vysokokvalitných monokryštálov karbidu kremíka.

Semicorex dodáva vysokokvalitnú SiC keramikuoblátkové člny. Naše produkty sú navrhnuté tak, aby poskytovali vynikajúcu tepelnú stabilitu, predĺženú životnosť a výnimočnú konzistenciu procesu. Pre prispôsobené riešenia alebo dodatočné technické informácie neváhajte kontaktovať náš technický tím.

Telefón: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com