8 -palcový vrchný prsteň Epi

Semicorex 8 -palcový vrchný prsteň EPI je špecializovaná zložka epitaxiálnych (EPI) depozičných systémov poskytujúcich vysoký výkon ako horný krycí krúžok v reakčnej komore. So zameraním na štrukturálnu integritu a tepelnú stabilitu počas epitaxného rastu polovodičových doštičiek je horný kruh EPI vyrobený z vysoko čistiaceho grafitu a potiahnutý karbidom kremíka (SIC), aby odolal teplote a chemicky reaktívnych prostredí výroby semiconductorov.

V epitaxiálnych reaktoroch horný kruh pomáha udržiavať oblátky a hrá dôležitú úlohu pri teplotnej uniformite a prietoku plynu počas depozície v rámci zostavy spiceptora. Povlak SIC na grafitovom substráte poskytuje horný kruh EPI s tepelnou stabilitou a inertným prostredím potrebným na ochranu grafitového jadra v dôsledku vystavenia plynným procesom počas výkonu horného kruhu EPI (vodík, silány, kloozilanovia atď.). Tvrdosť a vodivosť vrstvy SIC zvyšuje výkon horného kruhu EPI tým, že zabraňuje degradácii a umožňuje stabilnejšie vrstvy počas celého výrobného cyklu.

Vďaka záväzku k rozmerovej presnosti, konzistencii poťahovania a opakovateľnosti sa 8 -palcový horný kruh EPI vyrába s presným inžinierstvom. Grafitový substrát je opracovaný na prísne tolerancie a tepelne sa vyčistí, aby sa oddelili nečistoty a dodáva čistý substrát s vynikajúcou čistotou a pevnosťou. Povlak SIC sa aplikuje pomocou chemického ukladania pary (CVD) na vytvorenie hustej, konzistentnej a silne viazanej ochrannej vrstvy. Tento proces minimalizuje tvorbu častíc a umožňuje povlaku udržiavať povrchovú integritu počas predĺženého používania.

Výrobcovia polovodičov sa počas výroby spoliehajú na horný kruh EPI, aby udržiavali kritické parametre komory a podporovali doštičky bez defektov. Konfigurácia je navrhnutá na použitie s poprednými systémami spracovania oblátok OEM 8-palcových oblátok. K dispozícii sú vlastné možnosti pre hrúbku, povrchovú úpravu a drážkované vzory pre lepšie tepelné riadenie alebo dokonca distribúciu plynu.

Usporiadanie vlastností grafitu potiahnutého SIC pre túto aplikáciu berie kombináciu to najlepšie z vlastností z oboch materiálov; Grapit je veľmi strojný a má tepelnú rezistenciu v kombinácii s karbidom kremíka, ktorý je tvrdší, odolný proti korózii a má dlhšiu životnosť. Táto kombinácia vám v konečnom dôsledku poskytuje horný kruh EPI, ktorý je spoľahlivý pri vysokej teplote, a zaručuje čisté a stabilné prostredie spracovania, ktoré znižuje intervaly údržby a poskytuje celkovú vylepšenú prevádzkovú dobu zariadenia.

Grafitové komponenty hrajú nevyhnutnú a rozhodujúcu úlohu pri výrobe polovodičov. Kvalita grafitového materiálu výrazne ovplyvňuje kvalitu hotového výrobku. Naša konzistentnosť a materiálová homogenita grafitovej šarže je počas celého výrobného procesu kontrolovaná a zaručená.

1. SPOLOČNOSŤ VÝROBA S MALÝMI KABIKNIZÁCIÍ SA S kapacitou iba 50 metrov kubických.

2. Každý kus materiálu je monitorovaný a sledovaný.

3.Verné monitorovanie vo viacerých bodoch v peci zaisťuje minimálne teplotné rozdiely.

4. Demperatívne monitorovanie vo viacerých bodoch materiálu zaisťuje minimálne teplotné rozdiely.

8-palcový Epi Top Ring od spoločnosti Semicorex ponúka výnimočný výkon, konzistentnosť dávky-šarže a osvedčenú spoľahlivosť v najťažších polovodičových kremíku, kremíkových karbidoch alebo iných zložených procesoch epitaxie polovodičov. Pri každom výrobnom kroku vyrábame výrobky s kontrolou kvality, čo znamená, že každý produkt zakúpený pre polovodičový priemysel presahuje špecifikácie kvality.

Vyberte 8-palcový horný krúžok EPI spoločnosti Semicorex pre vašu aplikáciu Epitaxy, aby ste využili možnosti ponúkané prostredníctvom presného inžinierstva, vynikajúcich materiálov a prispôsobenia špecifického pre aplikáciu na zlepšenie výnosov a výkonu zariadenia.