8-palcové oblátky

Semicorex 8-palcové krúžky doštičiek sú špičkovým hardvérom spracovania polovodičov určený na bezpečné zaistenie a podporu kremíkových doštičiek prostredníctvom dôležitých tepelných, leptacích a depozičných procesov. Skonštruovaný z vysoko kvalitného grafitu s hustoupoťahovanie karbidu kremíka (sic)Pre pridanú pevnosť prsteň držiteľa oblátok poskytuje vynikajúcu tepelnú stabilitu, chemický odpor a mechanickú pevnosť, čo je ideálny na použitie v vysokoteplotných a korozívnych prostrediach, ako je CVD (chemické depozície pary), PECVD a epitaxické systémy.

Kľúčové funkcie:

Materiálne zloženie:

Materiál substrátu jegrafit, ktorý je vybraný pre vysokú tepelnú vodivosť a štrukturálnu homogenitu. Vysoká hustota a jednotnákremíkový karbid (SIC) Filmový nátersa aplikuje na povrch, vykazuje vysokú odolnosť voči oxidácii a chemickému útoku aj pri zvýšených teplotách presahujúcich 1000 ° C. Zmes obsahuje trvanlivosť dlhého trvania a minimálne riziko kontaminácie doštičiek.

Zabezpečené umiestnenie oblátok

Obzvlášť navrhnutý tak, aby držal 8-palcové (200 mm) doštičky, prsteň Weferinger drží presné tolerancie a optimálne navrhnutú vnútornú geometriu na bezpečné uchopenie oblátky. Kruh zostáva v polohe stabilný počas tepelnej cyklistiky a prietoku plynu, čo minimalizuje mikroformáciu, čo by mohlo viesť k vytvoreniu častíc alebo rozbitiu doštičiek.

Tepelná uniformita:

Inherentná tepelná vodivosť grafitového substrátu a stabilita povlaku SIC zabezpečujú konzistentný prenos tepla cez povrch doštičky. To má za následok konzistentné výsledky procesu, znížené tepelné napätie a lepší výťažok zariadenia.

Chemická a plazmatická odolnosť:

Povrch SIC chráni grafitové jadro pred tvrdými procesnými plazmami a plynmi a ponúka odpor proti opakovaným procesným cyklom. Chemická inertnosť je obzvlášť prospešná v korozívnych halogénoch obsahujúcich leptovací alebo reaktívny plynový prostredie.

K dispozícii je prispôsobenie:

8-palcové krúžky na oblúky môžu byť navrhnuté tak, aby splnili konkrétne požiadavky na vybavenie alebo proces, t. Naši dizajnéri pracujú s OEM a FABS, aby poskytovali najvyšší možný výkon pre každé použitie.

Aplikácie:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Procesy epitaxného rastu
• Difúzne pece
• Žíhanie vysokej teploty
• Ostatné polovodičové tepelné systémy spracovania

Každé 8-palcové kruhy doštičiek podliehajú prísnej kontrole, ako je overovanie presnosti dimenzie, test pritiahnutia adhézie a kvalifikácia tepelnej cyklistiky. Naša pokročilá výrobná technológia zaisťuje rovnomernú hrúbku povlaku SIC a najlepšiu povrchovú úpravu na splnenie vysokých požiadaviek polovodičového priemyslu.

Semicorex 8-palcové oblátky (grafit potiahnutý SIC) sú základným zariadením pre výrobu polovodičov novej generácie, ktoré poskytujú mechanickú presnosť, trvanlivosť materiálu a chemickú stabilitu. Od vylepšení procesných zariadení až po výstavbu platforiem na oblátky novej generácie ponúka tento produkt spoľahlivosť a výkon potrebnú na umožnenie dnešného náročného výrobného prostredia.