Vákuové skľučovadlo Al2O3

Aplikácie vo výrobe polovodičov

SemicorexAl2O3 Vacuum Chuck je všestranný nástroj používaný vo viacerých fázach výroby polovodičov:

Riedenie: Počas procesu riedenia plátkov poskytuje vákuové skľučovadlo Al2O3 stabilnú a rovnomernú podporu, čo zaisťuje vysoko presné zmenšenie substrátu. To je kľúčové pre zlepšenie odvodu tepla čipu a zvýšenie výkonu zariadenia.

Krájanie: Vo fáze krájania na kocky, kde sa plátky krájajú na jednotlivé štiepky, vákuové skľučovadlo Al2O3 ponúka bezpečnú a stabilnú adsorpciu, čím sa minimalizuje riziko poškodenia a zaisťujú sa čisté rezy.

Čistenie: Hladký a rovnomerný adsorpčný povrch vákuového skľučovadla Al2O3 ho robí vhodným pre procesy čistenia plátkov, pričom zaisťuje efektívne odstránenie nečistôt bez poškodenia plátkov.

Preprava: Počas manipulácie a prepravy plátkov poskytuje vákuové skľučovadlo Al2O3 spoľahlivú a bezpečnú podporu, čím sa znižuje riziko poškodenia a kontaminácie.

SemicorexVákuumChuck Flow

Výhody vákuového skľučovadla Semicorex Al2O3

1. Jednotná mikroporézna keramická technológia

Vákuové skľučovadlo Al2O3 je skonštruované pomocou technológie mikroporéznej keramiky, ktorá zahŕňa použitie rovnomerne veľkých nano-práškov. Táto technológia zabezpečuje, že póry sú rovnomerne rozložené a prepojené, výsledkom čoho je vysoká pórovitosť a rovnomerne hustá štruktúra. Táto jednotnosť zvyšuje výkon vákuového skľučovadla a poskytuje konzistentnú a spoľahlivú podporu plátku.

2. Výnimočné vlastnosti materiálu

Ultra čistý 99,99% oxid hlinitý (Al2O3) použitý vo vákuovom skľučovadle Al2O3 ponúka celý rad výnimočných vlastností:

Tepelné vlastnosti: Vďaka vysokej tepelnej odolnosti a vynikajúcej tepelnej vodivosti môže vákuové skľučovadlo Al2O3 odolávať vysokým teplotám, ktoré sa bežne vyskytujú pri výrobe polovodičov.

Mechanické vlastnosti: Vysoká pevnosť a tvrdosť oxidu hlinitého zaisťuje, že vákuové skľučovadlo Al2O3 je odolné a odolné voči opotrebovaniu a poskytuje dlhotrvajúci výkon.

Ďalšie vlastnosti: Alumina tiež ponúka vysokú elektrickú izoláciu a odolnosť proti korózii, vďaka čomu je vákuové skľučovadlo Al2O3 vhodné pre širokú škálu výrobných prostredí.

3. Vynikajúca rovinnosť a paralelnosť

Jednou z kľúčových výhod vákuového skľučovadla Al2O3 je jeho vysoká rovinnosť a rovnobežnosť. Tieto vlastnosti sú kľúčové pre zabezpečenie presnej a stabilnej manipulácie s plátkami, minimalizovanie rizika poškodenia a zabezpečenie konzistentných výsledkov spracovania. Dobrá priepustnosť vzduchu a rovnomerná adsorpčná sila vákuového skľučovadla Al2O3 navyše zaisťujú hladkú a spoľahlivú prevádzku.

4. Možnosti prispôsobenia

V Semicorex chápeme, že každý proces výroby polovodičov má jedinečné požiadavky. Preto ponúkame prispôsobené vákuové skľučovadlá prispôsobené vašim špecifickým potrebám. V závislosti od požadovanej rovinnosti a výrobných nákladov odporúčame rôzne základné materiály, čím sa zabezpečí, že hmotnosť a výkon vákuového skľučovadla budú optimalizované pre vašu aplikáciu. Medzi tieto materiály patrí nehrdzavejúca oceľ SUS430, zliatina hliníka 6061, hustá keramika Alumina (farba slonoviny), žula a hustá keramika z karbidu kremíka.

Al2O3 Vacuum Chuck CMM Meranie