Robotické ramená Alumina Bernoulli

Robotické ramená sa používajú hlavne vo front-end procesoch výroby polovodičov, ako je fotolitografia a leptanie, kde sa priamo podieľajú na manipulácii, prenose a umiestňovaní polovodičových doštičiek. Semicorexoxid hlinitýBernoulliho robotické ramená sú keramické koncové efektory, ktoré dosahujú adsorpciu a prenos plátku na princípe Bernoulliho, pričom poskytujú výnimočný výkon v oblasti čistoty, stability, presnosti, účinnosti a spoľahlivosti.

Bezkontaktná adsorpcia

Robotické ramená Semicorex alumina Bernoulli dokážu dosiahnuť pevnú a stabilnú bezkontaktnú adsorpciu doštičiek využitím ich špeciálne navrhnutej konfigurácie a systému prúdenia vzduchu. Táto bezkontaktná prevádzková metóda môže zabrániť priamemu kontaktu s polovodičovými doštičkami a výrazne zabrániť kontaminácii doštičiek alebo poškodeniu spôsobenému fyzickým kontaktom, čo je obzvlášť vhodné pre ultračisté pracovné podmienky a jemný prenos doštičiek.

Spoľahlivý fyzikálny a chemický výkon

Keramika z oxidu hlinitého má vynikajúcu tvrdosť a pevnosť, vďaka čomu je Semicorex alumina Bernoullirobotické rukydobre sa hodí na dlhodobú manipuláciu s polovodičovými doštičkami bez deformácie a poškodenia.

Robotické ramená Semicorex alumina Bernoulli tiež poskytujú spoľahlivú odolnosť voči chemickej korózii a dokážu odolať náročným korozívnym plynom a plazmovým prevádzkovým prostrediam, pričom vykazujú konštantnú životnosť po dlhú dobu.

Prísna kontrola čistoty

Robotické ramená Semicorex alumina Bernoulli sa vyrábajú z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého pomocou presného izostatického lisovania a vysokoteplotného spekania. Tento presný výber materiálu a spôsob spracovania umožňuje robotickým ramenám Semicorex alumina Bernoulli, ktoré majú čistú a hustú keramickú štruktúru. Tým sa výrazne znižuje riziko kontaminácie plátku spôsobeného nežiaducimi nečistotami z prevádzkových podmienok.

Vynikajúca presnosť ovládania

Robotické ramená Semicorex alumina Bernoulli, dokončené presným brúsením a leštením, poskytujú výnimočnú rozmerovú presnosť a vynikajúcu rovinnosť povrchu, vďaka čomu sú veľmi vhodné pre vysoko presnú automatizovanú výrobu polovodičov. Okrem toho sa robotické ramená Semicorex alumina Bernoulli môžu pochváliť vynikajúcou tepelnou stabilitou, aj keď sú vystavené prostrediam so silnými teplotnými výkyvmi, dokážu si zachovať vynikajúce opakované polohovanie a presnosť manipulácie.