Keramický manipulátor z oxidu hlinitého

Keramický manipulátor z hliníkasa tiež nazýva koncový efektor na manipuláciu s keramickými vidlicami a plátkami z oxidu hlinitého. Inštaluje sa na robot na manipuláciu s plátkami a je ekvivalentom ruky robota. Používa sa na prenášanie, prepravu a polohovanie polovodičových doštičiek.Kremíkové doštičkysú extrémne náchylné na kontamináciu inými časticami, takže sa s nimi zvyčajne manipuluje vo vákuu, aby sa zabezpečila čistota. Keramické manipulátory z oxidu hlinitého používajú podtlakové sanie na odstránenie plátkov a transport polovodičových plátkov prostredníctvom teleskopických, rotačných a zdvíhacích pohybov ramena. Vo vnútri alumino-keramického manipulátora sú vzduchové otvory a ventilačné drážky, ktoré môžu pri čerpaní vzduchu vytvárať vákuum, takže polovodičové doštičky môžu byť adsorbované svetelným kontaktom bez zovretia alebo poškodenia polovodičových doštičiek.

Je dobre známe, že čím čistejšie zloženiehlinitá keramikaje, tým vyššia bude jeho pevnosť. Keramické manipulátory Semicorex alumina sú vyrobené z vysoko čistej aluminovej keramiky. Výsledkom je výnimočná mechanická pevnosť a tvrdosť. Ich odolnosť proti opotrebeniu ďaleko prevyšuje odolnosť ocele a chrómovej ocele, čo im umožňuje zachovať presnosť povrchu v priebehu času v prostrediach s vysokým trením, čím sa znižuje riziko poškriabania plátkov a sú ideálne pre veľmi presnú manipuláciu. Tento keramický manipulátor z oxidu hlinitého má vysoký odpor. Jeho vynikajúce elektrické izolačné vlastnosti môžu účinne zabrániť elektrostatickej interferencii a znížiť riziko adsorpcie častíc na udržanie čistého povrchu plátku. Okrem toho proces výroby polovodičov zahŕňa zložité obvody a vysokonapäťové prostredia v rámci zariadenia. Vysokoodolný keramický manipulátor z oxidu hlinitého účinne blokuje vedenie prúdu, čím zaisťuje elektrickú bezpečnosť pri manipulácii s polovodičovými plátkami. Vďaka vysokej teplotnej odolnosti a tepelnej stabilite keramiky z oxidu hlinitého sa manipulátor počas procesu tepelného spracovania polovodičov veľmi málo deformuje, dokáže presne umiestniť doštičky a vyhnúť sa odchýlke presnosti spôsobenej tepelnou deformáciou. Okrem toho má tento materiál vynikajúcu chemickú stabilitu a je vysoko odolný voči korózii kyselinami, zásadami, roztavenými kovmi atď. Nie je ľahké reagovať s inými látkami, aby sa uvoľnili znečisťujúce častice, a môže účinne chrániť polovodičové časti pred chemickou kontamináciou.