Keramické vákuové skľučovadlá z hliníka

Aluminové keramické vákuové skľučovadlású bežne umiestnené v centrálnej oblasti zóny spracovania polovodičových zariadení, ktoré sú zodpovedné za podopretie a upevnenie polovodičových doštičiek. Sú pripojené k vákuovým pumpám a pomocou princípu vákuovej adsorpcie dokážu pevne adsorbovať polovodičové doštičky na povrch keramických vákuových skľučovadiel z oxidu hlinitého. V skutočnej prevádzke vákuové čerpadlá extrahujú vzduch medzi plátkom a skľučovadlom, čím vytvárajú vákuové prostredie, ktoré pevne drží plátok na mieste. To zaisťuje stabilné umiestnenie plátku počas spracovania a účinne znižuje chyby pri obrábaní spôsobené posunutím plátku.

Aby sa vytvorila dostatočná adsorpčná sila na upevnenie polovodičovej doštičky, keramické vákuové skľučovadlo z oxidu hlinitého musí tesne priľnúť k povrchu doštičky. Pretože nedostatočná adsorpčná sila bude mať za následok zlyhanie udržiavania vákua, čo spôsobí oddelenie alebo posunutie plátku. To kladie prísne požiadavky na rovinnosť povrchu keramických vákuových skľučovadiel z oxidu hlinitého, aby sa predišlo takýmto problémom pri zdroji. Ich povrch musí byť precízne mechanicky leštený, aby sa dosiahla požadovaná rovinnosť pre zabezpečenie očakávaného adsorpčného efektu.

Z prevádzkového hľadiska sú keramické vákuové skľučovadlá Semicorex kritickými komponentmi pri dosahovaní automatizácie súčasnej výroby polovodičov. Môžu uľahčiť hladký priebeh automatizácie, čo umožňuje presné naberanie, umiestnenie, zarovnanie a spracovanie doštičiek. Dobre navrhnutá štruktúra a vzhľad keramických vákuových skľučovadiel z oxidu hlinitého umožňuje rýchly prechod vzduchu, čím sa dosiahne účinná adsorpcia a uvoľnenie vákua a zabráni sa deformácii alebo poškodeniu povrchu plátku spôsobenému nevhodnou adsorpčnou silou. Semicorex navyše využíva nízku hmotnosťhlinitá keramikana zníženie celkovej hmotnosti keramických vákuových skľučovadiel z oxidu hlinitého. Tento výber materiálu uľahčuje inštaláciu a prevádzku zariadenia, čím výrazne zvyšuje efektivitu prevádzky.

S toľkými pozoruhodnými výkonmi sú keramické vákuové skľučovadlá Semicorex z oxidu hlinitého široko používané v priemysle výroby polovodičov, ako je riedenie plátkov, kocky, brúsenie, leštenie, fotolitografia, leptanie a ďalšie procesy na zlepšenie presnosti spracovania a výťažnosti.