Alumina End Effector

Semicorex Alumina End Effector sa ukázal ako nepostrádateľný nástroj v náročnej sfére výroby polovodičov, kde aj mikroskopické nedokonalosti môžu ohroziť výkon zariadenia, pričom úlohu precíznej manipulácie s plátkami nemožno preceňovať. Alumina End Effector poskytuje jedinečnú kombináciu presnosti, čistoty a odolnosti, ktorá je nevyhnutná pre manipuláciu s jemnými kremíkovými doštičkami počas rôznych výrobných procesov.**

Odoslať dopyt

Popis produktu

Výber materiálu pre Semicorex Alumina End Effector vychádza z jedinečnej vhodnosti keramiky z oxidu hlinitého s vysokou čistotou pre drsné prostredie, s ktorým sa stretávame pri výrobe polovodičov:

Výnimočná čistota na kontrolu kontaminácie: Alumina End Effector, ktorý ako substrát obsahuje vysokočistú aluminovú keramiku, sa vyznačuje extrémne nízkymi hladinami nečistôt, čo zaisťuje, že nevnáša kontaminanty, ktoré by mohli ohroziť elektrické vlastnosti alebo výkon citlivých polovodičových zariadení.

Vysokoteplotná stabilita pre všestrannosť procesu:Alumina End Effector vykazuje vynikajúcu tepelnú stabilitu, zachováva si svoju štrukturálnu integritu a rozmerovú presnosť aj pri zvýšených teplotách, s ktorými sa stretávame v procesoch, ako je tepelná oxidácia, difúzia a chemické nanášanie pár.

Chemická inertnosť pre drsné prostredie:Vlastná chemická odolnosť Alumina End Effector ho robí nepriepustným pre širokú škálu kyselín, zásad a rozpúšťadiel bežne používaných pri spracovaní polovodičov. Táto inertnosť zabraňuje korózii alebo degradácii koncového efektora, zabezpečuje jeho dlhodobý výkon a minimalizuje riziko kontaminácie časticami.

Robustné mechanické vlastnosti pre predĺženú životnosť:Keramika z oxidu hlinitého je známa svojou tvrdosťou, odolnosťou proti opotrebovaniu a schopnosťou odolávať opakovaným cyklom manipulácie a čistenia bez degradácie. Táto robustnosť sa premieta do predĺženej životnosti Alumina End Effector, čím sa znižujú náklady na výmenu a prestoje.

Presnosť, čistota a odolnosť Alumina End Effector z neho urobili základnú súčasť v rade kritických procesov výroby polovodičov:

Fotolitografia:Presné zarovnanie a umiestnenie plátku sú prvoradé vo fotolitografii, kde aj malé odchýlky môžu viesť k chybám nesprávneho zarovnania a zlyhaniu zariadenia. Alumina End Effector poskytuje potrebnú presnosť a stabilitu pre tento kritický procesný krok.

Chemicko-mechanická planarizácia (CMP):Schopnosť odolávať chemicky agresívnym kalom a mechanickým silám, ktoré sú súčasťou CMP, robí z Alumina End Effector ideálne riešenie na manipuláciu s plátkami počas tohto kritického procesu, ktorý planarizuje povrch plátku pre následné vrstvenie.

Kontrola plátkov a metrológia:Nekontaminujúca a nepoškodzujúca povaha Alumina End Effector ho robí ideálnym na manipuláciu s plátkami počas kontrolných a metrologických procesov, pričom zabezpečuje presné merania a minimalizuje riziko zavedenia defektov.