Hliníkové montážny základný dosky

Montážne dosky Montáže SemiCorex Alumina sú vysokokvalitné keramické výrobky navrhnuté ako odolné a stabilné základne pre montážne pracovné skľučovanie v polovodičových výrobných zariadeniach. Tieto platne poskytujú kritickú mechanickú podporu a zarovnanie pre operácie spracovania oblátok, ako je litografia, leptanie, depozícia a kontrola. Je nevyhnutné presne zarovnať prácu s Chuckom s inými systémovými komponentmi, aby sa zabezpečilo, že s požadovanou vernosťou môže dôjsť k spracovaniu doštičiek. Doštičky sa vyrábajú pomocou spracovateľských techník špecifických pre keramiku, aby sa dosiahla potrebná rovinnosť, trvanlivosť s vysokou teplotou a dlhodobá spoľahlivosť, aby sa splnili tvrdé požiadavky moderného výroby polovodičov v prostredí procesu aj v čistej miestnosti.

Montážne dosky na montážny hlinitový hliník sú vyrobené z vysokej bezpečnostialuminamať úroveň čistoty ≧ 99,5% (typická). Hliník s vysokou čistotou má dobré mechanické a tepelné vlastnosti, ako aj tvrdosť. Hliník s vysokou čistotou má vynikajúce vlastné elektrické izolačné vlastnosti, ktoré tiež umožňujú používanie týchto platní vo vákuových a vysokých napätiach, kde môže byť problém s elektrickým interferenciou. Hliník bude odolný voči tepelnému cyklu, ktorý umožňuje doskám udržiavať lepšiu rozmerovú presnosť ako väčšina materiálov a je prospešná pre udržiavanie zarovnania alebo štrukturálnej stability v dôsledku zníženej tepelnej expanzie. Tento faktor je dôležitý pri zabezpečovaní opakovanosti a implicitných tolerancií procesu, zatiaľ čo prevádzkuje počas predĺžených výrobných cyklov.

V systémoch spracovania polovodičov nie je montážna základná doska iba zariadením na mechanické upevnenie. Je to médium tepelného kontaktu medzi skľučením a zvyškom zariadenia a je rozhodujúci pre tepelný rozptyl, štrukturálnu integritu a izoláciu vibrácií. Akcie spracovania, ako napríklad (ale nielen) CVD, PVD alebo iónové implantácie, kde sú bežné vysoké teploty a vákuové tlaky, vyžadujú, aby bola montážna základňa tepelne odolná, chemicky inertná a odolná, mechanicky zvuková a odolná voči tepelnému šoku. Chemická inerte je nevyhnutná, pretože držiak musí byť kompatibilný s reaktívnymi plynmi, ako aj s čistiacimi chemickými chemickými hodnotami, predlžujúc životnosť držiaka a predchádzajúce kontaminácii.

Každá doska na montáž hlinitých vyrobených spoločnosťou Semicorex je opracovaná na tolerancie požadované polovodičovými výrobcami OEM a integrátormi zariadení. Doštičky sú opracované na pevné tolerancie pre hrúbku, variáciu výšky a rovinnosť, aby sa zabezpečila maximálna stabilita a opakovateľnosť. Tieto montážne platne sa môžu vyrobiť pomocou montážnych otvorov, štrbín alebo počítadiel podľa špecifikácií zákazníkov, aby sa lepšie prispôsobili pracovné skrinky, mechanické štádiá alebo iné vybavenie. Hliníková keramika sa spracováva pomocou moderných techník sintrovania a presnosti mletia na optimalizáciu rovnomernej mikroštruktúry a kvality povrchu, aby sa zabezpečilo konzistentný tepelný kontakt a zarovnanie v priebehu času.

Montážne dosky Montáže Alumina Alumina sa používajú v rôznych aplikáciách vrátane manipulátorov oblátkov, robotických prenosových systémov, zoskupení vákuového skľučenia a metrologických stupňov. Táto spoľahlivosť a trvanlivosť v rôznych náročných situáciách v procese z nich robí produkt výberu s výrobcami nástrojov, ktorí hľadajú robustné, dlhotrvajúce keramické komponenty s nízkou údržbou. Naši inžinierska skupina spolupracuje so zákazníkmi s cieľom poskytovať jedinečné riešenia, ktoré sú špecifikované pre každú dosku, aby sa maximalizovala účinnosť výroby v polovodiči.

Montážne dosky z hliníka sú viac ako len mechanická podpora; Je kľúčovou súčasťou presného inžinierstva v polovodičovom priemysle. Vďaka vynikajúcej mechanickej stabilite, čistote a konfigurovateľnosti zabezpečujú presné zarovnanie, dlhú životnosť a spoľahlivú prevádzku v rozsiahlom rozsahu procesných nástrojov. V prípade vysoko výkonných montážnych základných dosiek, splnenie vysokých očakávaní dnešných výrobcov polovodičov, Trust Semicorex.