Alumina robot

Rameno SemiCorex Alumina Robot Arm je vysoko výkonná keramická časť určená pre úlohy manipulácie a prenosu oblátok vo výrobe polovodičov. Toto robotické rameno, ktoré je vyrobené z vysoko čistej hlinitej keramiky (al₂o₃), ponúka flexibilitu, presnosť, spoľahlivosť a trvanlivosť v čistých miestnostiach.

To, čo vyniká v prospech ramena robotov o hliníku, sú vlastnostialumina keramikamechanická pevnosť a tvrdosť. Akoaluminaje čistejšie, hliník zachováva lepšiu štrukturálnu integritu a robí ju odolnejším voči mechanickému opotrebeniu a deformácii. Ako materiál je hlinitou skvelou voľbou pre robotické časti, ktoré sa používajú pri jemných a opakujúcich sa úlohách na manipuláciu s oblátkami, t. J. Ak robotické rameno potrebuje vykonať rovnakú funkciu a nadviazať kontakt s doštičkami, že drobné skreslenie aplikované na doštičku robotickým ramenom môže stáť straty výnosu zariadenia. Vysoká tvrdosť, t. J. Pevné povrchy, môže pomôcť s abrazívnym odporom a funkčnou životnosťou, t. J. Rozšírenie života a trvania služby/ výmeny na robotickej zložke.

Okrem jej mechanickej trvanlivosti je rameno robota Hliniat tiež vynikajúcim elektrickým izolátorom. Odpor je až 10⁵ Ω · cm a izolačná pevnosť je pri teplote miestnosti až 15 kV/mm, čo poskytuje oveľa bezpečnejšie prostredie na prevádzku, najmä ak sa v spracovateľských zariadeniach musia znížiť interferujúce elektrické signály. Toto sa stáva dôležitým pri ochrane citlivých polovodičových komponentov prenosu medzi procesmi s minimálnym rizikom poškodenia elektrostatického výboja (ESD).

Hliník keramiky je vynikajúca pri udržiavaní stability pri veľmi vysokých teplotách. Bod topenia je asi 2050 ° C a vydrží vysoké teploty v polovodičovom tepelnom spracovaní bez deformácie alebo rozmerovej presnosti. Vysoký tepelný odpor umožňuje používanie ramena v procesoch, ako je rýchle tepelné žíhanie (RTA) alebo chemické ukladanie pary (CVD), kde sú kritické zarovnanie presnosti a tepelná stabilita.

Jednou z ďalších významných výhod rúk hlinitého robota je jeho zotrvačnosť. Jeho povrch je inertný na väčšinu čistiacich prostriedkov a spracováva plyny používané pri výrobe polovodičov. Preto zostane bez kontaminácie a neprispieva k kontaminácii povrchu oblátky. Táto chemická inertnosť je kľúčom k dosiahnutiu ultrakrivých výrobných podmienok a poskytovaní konzistentného výkonu zariadenia.

Alumina keramikaje tiež cenovo dostupnou voľbou pre polovodičové náradie. Je ľahko dostupná ako surovina a procesy obrábania keramiky hliníka sú dobre pochopené a ľahko škálovateľné. To umožňuje výrobu reprodukovateľných a konzistentných tolerancií pre kvalitné diely za konkurencieschopnú cenu. Vďaka zmesi výkonu a cenovej dostupnosti je rameno robotického hliníka ideálne pre OEM a polovodičové Fabs, kde potrebujete spoľahlivé komponenty automatizácie, ktoré banku nerozbijú.

Stručne povedané, rameno hlinitého robota poskytuje vysoký mechanický výkon, vysoký dielektrický výkon, vysoký tepelný odpor, vysoký chemický výkon, všetko s preukázanou výrobou za ekonomickú cenu. Súhrnne tieto výkonnostné charakteristiky robia spoľahlivé a efektívne pre presné aplikácie na manipuláciu s oblátkami vo výrobe polovodičov, čo umožňuje zlepšený výnos, potenciálne zníženie rizika kontaminácie a zlepšenie celkovej účinnosti zariadenia.