Alumina Wafer Leštiace dosky

Semicorexová doska z oxidu hlinitého leštiace doskysú presne opracované diely vyrobené z vysoko čistého oxidu hlinitého izostatickým lisovaním, vysokoteplotným spekaním a presným obrábaním. Sú ideálne na presné leštenie s prísnymi požiadavkami na ultra vysokú presnosť povrchu a účinnosť, najmä na leštenie polovodičových doštičiek, pretože keramika z oxidu hlinitého ponúka výnimočné fyzikálne a chemické vlastnosti.

---

Dlhá životnosť pre vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu

Vysoká odolnosť proti opotrebeniu je nevyhnutná pre doštičky na leštenie plátkov používaných pri vysoko presnom obrábaní. Mohsova tvrdosť keramiky z oxidu hlinitého je okolo 9, po diamante a karbide kremíka je na druhom mieste, čo umožňuje doštičkám na leštenie doštičiek odolávať vysokorýchlostným prevádzkovým podmienkam vysokého trenia počas leštenia polovodičových doštičiek s nízkou stratou opotrebovania. Vďaka tejto vynikajúcej odolnosti voči opotrebovaniu vykazujú leštiace platne z oxidu hlinitého trvanlivú životnosť, čím sa výrazne znižuje frekvencia odstávok zariadenia z dôvodu výmeny a znižujú sa náklady na údržbu a výmenu.

Výnimočná tepelná stabilita a odolnosť voči vysokým teplotám

AluminaDoštičky na leštenie doštičiek si môžu zachovať svoje fyzikálne vlastnosti a trecí výkon počas prostredia s vysokou teplotou 1 000 ℃ vďaka svojej výnimočnej tepelnej stabilite a odolnosti voči vysokej teplote. Sú vhodné pre vysokoteplotné pracovné podmienky spôsobené častým trením, účinne zabraňujú tepelnej deformácii a prispievajú k udržaniu konštantného leštiaceho povrchu.

Spoľahlivá chemická odolnosť proti korózii

Leštiace platne z oxidu hlinitého majú spoľahlivú odolnosť voči chemickej korózii. Vydržia väčšinu kyselín a zásad, ako aj bežné chemické leštiace roztoky používané v procese CMP. Ich povrchová rovinnosť nebude ohrozená chemickou koróziou, čím sa ovplyvní kvalita povrchu polovodičových doštičiek.

---

Aplikácie pre leštiace platne Semicorex Alumina

1.Leštenie polovodičových doštičiek

Leštiace platne z oxidu hlinitého sa široko používajú pri brúsení, hrubom leštení a dokončovacom leštení kremíka, SiC, zafíru a rôznych substrátov doštičiek. Vďaka svojej ultra nízkej drsnosti a rovinnosti povrchu nanometrov môžu leštiace platne z oxidu hlinitého ideálne spĺňať náročné požiadavky na kvalitu povrchu pokročilých polovodičových procesov, ako je leptanie a litografia.

2. riedenie plátkov a leštenie hrán

Počas procesu stenčovania plátkov možno použiť leštiace platne z oxidu hlinitého na presnú kontrolu hrúbky plátku a rovnomerné odstránenie materiálov zadnej strany. V procese leštenia hrán môžu leštiace dosky z oxidu hlinitého tiež pomôcť dosiahnuť optimálnu kvalitu hrán plátku odstránením otrepov a defektov na okrajoch plátku.