Keramické elektrostatické skľučovadlá

Keramické elektrostatické skľučovadlású presné komponenty, ktoré využívajú elektrostatické pole generované medzi elektródami a doštičkami na upnutie a upevnenie doštičiek. Široko sa používajú v oblastiach, ako sú polovodiče, ploché panely a optika, a sú základnými komponentmi špičkových zariadení, ako sú PVD zariadenia, leptacie stroje a iónové implantátory.

V porovnaní s tradičnými mechanickými skľučovadlami a vákuovými skľučovadlami majú keramické elektrostatické skľučovadlá mnoho výhod v oblasti výroby polovodičov. Toto keramické elektrostatické skľučovadlo využíva statickú elektrinu na vyrovnanie a rovnomerné uchytenie plátkov na svojom povrchu. Táto rovnomerná adsorpčná sila môže udržiavať adsorbovaný objekt relatívne plochý, čím sa zabránioblátkadeformácie alebo deformácie, ktoré môžu byť spôsobené tradičnými mechanickými skľučovadlami alebovákuové skľučovadláa zabezpečenie, aby si doštička zachovala presnosť spracovania vhodnú pre vysoko presné polovodičové procesy.

Niektoré keramické elektrostatické skľučovadlá majú integrované funkcie ohrevu, ktoré dokážu presne regulovať teplotu plátku pomocou spätne fúkaného plynu alebo vnútorných vyhrievacích elektród, prispôsobiť sa prísnym teplotným požiadavkám rôznych procesov a zlepšiť stabilitu spracovania.

Na rozdiel od mechanických skľučovadiel, keramické elektrostatické skľučovadlá redukujú mechanické pohyblivé časti, znižujú vplyv časticových nečistôt na kvalitu plátku, účinne chránia čistotu povrchu plátku a zlepšujú výťažnosť produktu.

Keramické elektrostatické skľučovadlá ponúkajú širokú kompatibilitu. Môžu obsahovať doštičky rôznych veľkostí a materiálov, vrátane kremíka, arzenidu gália a karbidu kremíka, čím spĺňajú rôzne potreby výroby polovodičov.

Môžu stabilne pracovať v prostredí s vysokým vákuom, ako je iónová implantácia a CVD, čím prekonávajú obmedzenia tradičných vákuových skľučovadiel, ktoré nedokážu absorbovať doštičky vo vákuovom prostredí, a dokonale spĺňajú procesné požiadavky na implantáciu iónov, chemickú depozíciu z pár (CVD) a ďalšie procesy vo výrobe polovodičov.