CVD a CVI vákuová pec

Semicorex je veľký výrobca a dodávateľ produktov s povlakom z karbidu kremíka v Číne. Ponúkame riešenia pecí na mieru. Naša vákuová pec CVD a CVI má dobrú cenovú výhodu a pokrýva mnohé európske a americké trhy. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex CVD a CVI Vacuum Furnace je vysokokvalitný nástroj určený pre procesy chemického nanášania pár (CVD). Reakčné teploty do 2200 °C. Je schopný nanášať širokú škálu materiálov vrátane karbidu kremíka, nitridu bóru, grafénu a ďalších. CVD pec má robustnú konštrukciu a je vyrobená z vysoko kvalitných materiálov, ktoré zaisťujú spoľahlivosť a odolnosť pri dlhodobom používaní. Má horizontálne aj vertikálne konštrukcie.

Aplikácia:C/C kompozitný brzdový kotúč, téglik, forma atď.

Vlastnosti vákuovej pece Semicorex CVD a CVI

1.Robustný dizajn vyrobený z vysoko kvalitných materiálov pre dlhodobé používanie;

2.Presne riadená dodávka plynu pomocou regulátorov hmotnostného prietoku a vysokokvalitných ventilov;

3. Vybavené bezpečnostnými funkciami, ako je ochrana proti nadmernej teplote a detekcia úniku plynu pre bezpečnú a spoľahlivú prevádzku;

4. Použitie viacerých zón regulácie teploty, veľká rovnomernosť teploty;

5. Špeciálne navrhnutá depozičná komora s dobrým tesniacim účinkom a skvelým výkonom proti kontaminácii;

6. Použitie viacerých depozičných kanálov s rovnomerným prietokom plynu, bez usadenín mŕtvych rohov a dokonalým depozičným povrchom;

7. Má úpravu pre decht, pevný prach a organické plyny počas procesu nanášania

Voliteľné funkcie:

•Dvierka pece: skrutkový/hydraulický/manuálny typ zdvihu;kyvné otváranie/paralelné otváranie (veľká veľkosť

dvere pece); ručné tesné / automatické tesniace krúžky

• Nádoba pece: celá uhlíková oceľ/vnútorná vrstva nehrdzavejúca oceľ/celá nehrdzavejúca oceľ

• Horúca zóna pece: mäkká uhlíková plsť/mäkká grafitová plsť/pevná kompozitná plsť/CFC

•Vyhrievacie teleso a mufl: izostatický lisovaný grafit/grafit vysokej čistoty, pevnosti a hustoty/grafit s jemnou veľkosťou

• Systém procesného plynu: objemový/hmotnostný prietokomer

• Termočlánok: typ K/typ N/typ C/typ S

Špecifikácie CVD pece
Model	Veľkosť pracovnej zóny (Š x V x D) mm	Max. Teplota (°C)	Teplota Rovnomernosť (°C)	Konečné vákuum (Pa)	Rýchlosť zvýšenia tlaku (Pa/h)
LFH-6900-C	600 × 600 × 900	1500	± 7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1 000 × 1 000 × 1 500	1500	± 7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300 × 500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600 × 800	1500	± 7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800 × 1200	1500	± 7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

* Vyššie uvedené parametre je možné prispôsobiť požiadavkám procesu, nie sú akceptačným štandardom, podrobná špecifikácia. budú uvedené v technickom návrhu a dohodách.