CVD sprchová hlavica s povlakom SiC

Sprchová hlavica CVD s povlakom SiC, vyrobená z vysoko čistého grafitu a obalená tenkou vrstvou SiC metódou CVD, spája výhodné vlastnosti grafitu a SiC. Výsledkom tejto synergie je komponent, ktorý nielenže vyniká v zabezpečení konzistentnej a presnej distribúcie plynov, ale tiež sa môže pochváliť pozoruhodnou odolnosťou voči tepelným a chemickým ťažkostiam, s ktorými sa často stretávame v depozičných prostrediach.

Kľúčom k funkčnosti CVD sprchovej hlavice s povlakom SiC je jej schopnosť rovnomerne rozptyľovať prekurzorové plyny po povrchu substrátu, čo je úloha dosiahnutá strategickým umiestnením nad substrátom a starostlivým dizajnom malých otvorov alebo trysiek prerušujúcich jeho povrch. Toto rovnomerné rozdelenie je kľúčové pre dosiahnutie konzistentných výsledkov depozície.

Výber SiC ako poťahového materiálu pre CVD sprchovú hlavicu s povlakom SiC nie je svojvoľný, ale vychádza z jeho vynikajúcej tepelnej vodivosti a chemickej stability. Tieto vlastnosti sú nevyhnutné na zmiernenie akumulácie tepla počas procesu nanášania a udržiavanie rovnomernej teploty naprieč substrátom, okrem toho, že poskytujú robustnú ochranu proti korozívnym plynom a drsným podmienkam, ktoré sú typické pre procesy CVD.

Konštrukcia sprchovej hlavice CVD s povlakom SiC, prispôsobená špecifickým požiadavkám rôznych systémov CVD a procesných požiadaviek, zahŕňa dosku alebo tvar kotúča, ktorý je vybavený starostlivo vypočítaným súborom otvorov alebo štrbín. sprchová hlavica CVD s dizajnom SiC Coat zaisťuje nielen rovnomernú distribúciu plynu, ale aj optimálne prietoky nevyhnutné pre proces nanášania, čím sa zdôrazňuje úloha komponentu ako základného kameňa v snahe o presnosť a jednotnosť v procesoch nanášania materiálu.