Elektrostatické skľučovadlo

Elektrostatické skľučovadlo Semicorex, využívajúce keramiku z oxidu hlinitého s vysokou čistotou, poskytuje špičkový výkon v nastaveniach, ktoré uprednostňujú presnosť, stabilitu a čistotu. Oxid hlinitý, tiež známy ako oxid hlinitý (Al2O3), je keramický materiál známy svojimi výnimočnými elektroizolačnými vlastnosťami, vysokou tepelnou vodivosťou a vynikajúcou mechanickou pevnosťou. Tieto vlastnosti z neho robia ideálny materiál na konštrukciu elektrostatického skľučovadla, navrhnutého tak, aby odolal náročným podmienkam spracovania polovodičov. Aluminová keramika ESC je navrhnutá tak, aby vydržala vysoké teploty, korozívne prostredie a mechanické namáhanie počas manipulácie a spracovania plátkov, čo zohráva rozhodujúcu úlohu pri zabezpečovaní výťažnosti a kvality polovodičových zariadení.

Základným princípom elektrostatického skľučovadla je elektrostatická sila, ktorá sa používa na bezpečné držanie plátku na mieste. Táto sila sa vytvára privedením napätia na elektródy uložené v keramickom materiáli. Interakcia medzi elektrostatickým poľom a indukovanými nábojmi na povrchu plátku vytvára silnú zvieraciu silu, ktorá drží plátok na povrchu skľučovadla. Konštrukcia aluminokeramiky ESC zaisťuje, že táto upínacia sila je rovnomerne rozložená na plátok, čím sa minimalizuje riziko skĺznutia alebo poškodenia počas spracovania.

Jednou z kľúčových výhod použitia hliníkovej keramiky v konštrukcii elektrostatického skľučovadla sú jej výnimočné elektrické izolačné vlastnosti. Vysoká dielektrická pevnosť oxidu hlinitého umožňuje použitie vysokého napätia bez rizika elektrického zlyhania, čo je rozhodujúce pre zachovanie integrity elektrostatického poľa. Toto je obzvlášť dôležité pri procesoch, ako je plazmové leptanie alebo chemické nanášanie pár, kde je plátok vystavený vysoko reaktívnemu prostrediu a akékoľvek zmeny v upínacej sile by mohli viesť k defektom alebo poškodeniu plátku.

Okrem svojich elektrických vlastností vykazuje keramika z oxidu hlinitého vynikajúcu tepelnú vodivosť, ktorá je nevyhnutná pre riadenie tepla generovaného počas spracovania polovodičov. Schopnosť elektrostatického skľučovadla účinne odvádzať teplo pomáha udržiavať stabilnú teplotu na plátku, čím znižuje teplotné gradienty, ktoré by mohli viesť k deformácii alebo iným formám tepelného namáhania. Táto tepelná stabilita je rozhodujúca pre zabezpečenie presnosti a opakovateľnosti procesov, ako je fotolitografia, kde aj malé teplotné odchýlky môžu ovplyvniť výsledok.