ESC Chuck

Semicorex ESC Chuck využíva elektrostatické sily na udržanie presnej kontroly nad polohou doštičky, čím zabezpečuje vysokú presnosť a opakovateľnosť v prostredí výroby polovodičov. Dizajn skľučovadla ESC v spojení s jeho robustným výberom materiálu a prispôsobiteľnými rozmermi z neho robí všestranný a nevyhnutný nástroj v procesoch, ako je leptanie, nanášanie a implantácia iónov.

Skľučovadlo ESC funguje tak, že sa medzi elektródy skľučovadla a plátok aplikuje vysokonapäťové elektrostatické pole, čím sa vytvorí príťažlivá sila, ktorá drží plátok na mieste. Doštička, zvyčajne vyrobená z kremíka alebo karbidu kremíka, je zaistená touto silou, čo umožňuje presné operácie v prostredí s vysokým vákuom. Tento systém eliminuje potrebu mechanického upínania alebo vákuového upínania, ktoré môže vnášať nečistoty alebo deformovať plátok. Použitím skľučovadla ESC môžu výrobcovia dosiahnuť čistejšie a stabilnejšie prostredie pre jemné výrobné procesy, čo vedie k vyšším výnosom a konzistentnejším výsledkom.

Jednou z kľúčových výhod technológie ESC je jej schopnosť udržať pevné uchopenie plátku pri rovnomernom rozložení sily po jeho povrchu. To zaisťuje, že plátok zostane plochý a stabilný, čo je rozhodujúce pre dosiahnutie rovnomerného leptania alebo nanášania, najmä v procesoch, kde sa vyžaduje submikrónová presnosť. Prispôsobiteľné rozmery skľučovadla ESC umožňujú umiestniť doštičky rôznych veľkostí, od štandardných 200 mm a 300 mm doštičiek až po špecializované, neštandardné veľkosti používané vo výskume a vývoji alebo pri výrobe polovodičových súčiastok.

Materiály použité pri konštrukcii skľučovadla ESC sú starostlivo vybrané, aby bola zabezpečená kompatibilita s drsným prostredím, ktoré sa typicky vyskytuje pri spracovaní polovodičov. Vysoko čistý keramický oxid hlinitý sa používa vďaka svojim vynikajúcim elektroizolačným vlastnostiam, tepelnej stabilite a odolnosti voči plazmovej korózii. Tieto vlastnosti umožňujú skľučovadlu efektívne fungovať v podmienkach vysokej teploty aj vysokého vákua a poskytujú trvanlivosť a spoľahlivosť potrebnú na dlhodobé používanie v prostredí čistých priestorov.

Prispôsobenie je ďalšou významnou výhodou ESC skľučovadiel. V závislosti od špecifických požiadaviek procesu výroby polovodičov môžu byť rozmery skľučovadla, konfigurácie elektród a zloženie materiálu prispôsobené tak, aby vyhovovali jedinečným potrebám spracovávaného zariadenia a plátkov. Či už aplikácia zahŕňa plazmové leptanie, chemickú depozíciu z pár (CVD) alebo fyzikálnu depozíciu z plynnej fázy (PVD), ESC skľučovadlo môže byť navrhnuté tak, aby optimalizovalo výkon a zachovalo integritu plátku počas spracovania.