Podstavec z taveného kremeňa

Pri výrobe polovodičov slúži Fused Quartz podstavec ako nosná konštrukcia pre kremenný čln, ktorý drží doštičky. Udržiavaním konštantnej teploty pomáha dosiahnuť rovnomerné ukladanie tenkých vrstiev, čo je kritický faktor pre výkon a spoľahlivosť polovodičových zariadení. Podstavec zabezpečuje rovnomerné rozloženie tepla a svetla v procesnej komore, čím sa zvyšuje celková kvalita procesu nanášania.

Výhody taveného kremenného materiálu

1. Odolnosť voči vysokej teplote

Fused Quartz podstavec sa môže pochváliť bodom mäknutia približne 1730 °C, čo mu umožňuje vydržať dlhodobé používanie pri teplotách v rozsahu od 1100 °C do 1250 °C. Navyše vydrží krátkodobé vystavenie teplotám až 1450 °C.

2. Odolnosť proti korózii

Fused Quartz podstavec je chemicky inertný voči väčšine kyselín, s výnimkou kyseliny fluorovodíkovej. Jeho odolnosť voči kyselinám prevyšuje odolnosť keramiky 30-krát a nehrdzavejúcej ocele 150-krát. Pri zvýšených teplotách sa žiadny iný materiál nevyrovná chemickej stabilite taveného kremeňa, čo z neho robí ideálnu voľbu pre drsné chemické prostredie.

3. Tepelná stabilita

Jednou z výnimočných vlastností Fused Quartz podstavca je jeho minimálny koeficient tepelnej rozťažnosti. Táto vlastnosť mu umožňuje odolávať prudkým zmenám teploty bez praskania. Môže sa napríklad rýchlo zahriať na 1100 °C a potom ponoriť do vody pri izbovej teplote bez toho, aby sa utrpelo poškodenie, čo je základná charakteristika pre vysoko namáhané výrobné procesy.

Výrobný proces

Výrobný proces pre Fused Quartz podstavec je starostlivo kontrolovaný, aby sa zabezpečili najvyššie štandardy kvality. Podstavce sa vyrábajú procesom tepelného tvarovania a zvárania v prostredí čistých priestorov triedy 10 000 alebo vyššej. Následné čistenie ultračistou vodou (18 MΩ)ďalej zaisťuje čistotu a výkonnosť produktu. Každý tavený kremenný podstavec prechádza prísnou kontrolou, čistením a balením v čistej miestnosti triedy 1 000 alebo vyššej, aby spĺňal prísne požiadavky výroby polovodičov.

Vysoko čistý nepriehľadný kremenný materiál

Na efektívne blokovanie tepla a svetla využíva Fused Quartz podstavec vysoko čistý nepriehľadný kremenný materiál. Jedinečné vlastnosti tohto materiálu zvyšujú schopnosť podstavca udržiavať stabilnú a rovnomernú teplotu v procesnej komore, čím sa zabezpečuje konzistentná kvalita nanášania tenkých vrstiev na doštičky.

Široká škála aplikácií

Vďaka výnimočným vlastnostiam podstavca Fused Quartz je vhodný pre rôzne aplikácie v polovodičovom priemysle. V procesoch ALD podporuje presné riadenie rastu tenkých vrstiev na atómovej úrovni, čo je nevyhnutné pre výrobu pokročilých polovodičových súčiastok. Počas procesov LPCVD prispieva tepelná stabilita podstavca a schopnosť blokovať svetlo k rovnomernému ukladaniu filmu, čím sa zlepšuje výkon zariadenia a výťažnosť.

Pri difúznych procesoch zaisťuje vysokoteplotná odolnosť a chemická inertnosť Fused Quartz podstavec spoľahlivé a konzistentné dopovanie polovodičových materiálov. Tieto procesy sú rozhodujúce pre definovanie elektrických vlastností polovodičových zariadení a použitie vysokokvalitných materiálov, ako je tavený kremeň, je nevyhnutné na dosiahnutie optimálnych výsledkov.