Tavený kremenný prsteň

Aplikácie taveného kremenného krúžku Semicorex v polovodičovom leptaní

Proces leptania polovodičov je kľúčovým krokom pri výrobe polovodičových zariadení. Počas leptania sú špecifické oblasti plátku selektívne odstránené, aby sa vytvorili zložité vzory. Tento proces vyžaduje materiály, ktoré odolajú extrémnym podmienkam a poskytujú konzistentný výkon. Fused Quartz Ring je navrhnutý tak, aby spĺňal tieto prísne požiadavky a zabezpečil, že proces leptania je presný, efektívny a spoľahlivý.

Výhody taveného kremenného krúžku Semicorex

1. Výnimočná čistota

Čistota SiO2 v prstenci Fused Quartz je jednou z jeho najvýznamnejších výhod. S úrovňami čistoty v rozsahu od 99,995 % do 99,999 % zaisťuje Fused Quartz Ring minimálnu kontamináciu a vysokokvalitné výsledky leptania. Táto vysoká čistota je rozhodujúca pri výrobe polovodičov, kde aj tie najmenšie nečistoty môžu ovplyvniť výkon a spoľahlivosť konečného produktu.

2. Vynikajúca tepelná stabilita

Fused Quartz Ring je navrhnutý tak, aby odolal extrémnym teplotám, s prevádzkovou teplotou až 1250 °C a teplotou mäknutia 1730 °C. Táto vysoká tepelná stabilita umožňuje, aby si Fused Quartz Ring zachoval svoju štrukturálnu integritu a výkon pri intenzívnych tepelných podmienkach, ktoré sa bežne vyskytujú pri procese leptania.

3. Nízky koeficient expanzie

Extrémne nízky koeficient rozťažnosti Fused Quartz Ring ho robí vysoko odolným voči tepelným šokom. Táto vlastnosť je rozhodujúca v procese leptania, kde môže dochádzať k rýchlym zmenám teploty. Nízky koeficient rozťažnosti zaisťuje, že Fused Quartz Ring zostáva stabilný a spoľahlivý, čím sa znižuje riziko prasknutia a iných problémov súvisiacich s tepelným namáhaním.

4. Chemická odolnosť

Fused Quartz Ring vykazuje vynikajúcu odolnosť voči kyselinám a zásadám. Táto chemická odolnosť zaisťuje, že Fused Quartz Ring vydrží drsné podmienky procesu leptania, pričom si zachová svoj výkon a trvanlivosť po dlhú dobu.

5. Bez mikrobublín a nízkym obsahom hydroxylových skupín

Neprítomnosť mikrobublín a nízky obsah hydroxylových skupín v prstenci Fused Quartz zaisťuje, že poskytujú konzistentný a spoľahlivý výkon. Mikrobubliny a vysoký obsah hydroxylových skupín môžu viesť k defektom a kontaminácii v procese leptania, čo ovplyvňuje kvalitu a spoľahlivosť konečného produktu.

6. Nízka tepelná vodivosť a dielektrická konštanta

Fused Quartz Ring má veľmi nízku tepelnú vodivosť a dielektrickú konštantu, ako aj najnižšiu tangentu straty z takmer všetkých známych materiálov. Nízka tepelná vodivosť pomáha efektívne odvádzať teplo, čím sa znižuje riziko tepelného poškodenia plátku. Nízka dielektrická konštanta a stratová tangenta zaisťujú, že naše kremenné krúžky poskytujú vynikajúcu elektrickú izoláciu, čím sa znižuje riziko elektrického rušenia a zlepšuje sa celková účinnosť procesu leptania.