Cíter sklovitý uhlík

Semicorex sklovité uhlíkové náter pôsobí ako vnútorná izolačná vrstva v kremíkových karbidových epitaxiálnych reaktoroch. Je to vysoko výkonný izolačný materiál určený pre pokročilé tepelné prostredie. Tento produkt prekonáva typické polovodičové vysokoteplotné výrobné výzvy tým, že ponúkajú vynikajúce riešenia vďaka svojim ľahkým a vynikajúcim tepelným izoláciougrafit plsť, spojené s integritou povrchu a chemickou inertnosťou dodávanou sklovitým uhlíkovým povlakom.

Základný materiál je vysoká čistotagrafit plsťVybrali si pre svoju nízku tepelnú vodivosť vysokú teplotnú stabilitu a ľahkú hmotnosť. Normálny grafitový pls má zvyčajne vylučovanie povrchových vlákien a tvorbu častíc pri zvýšených teplotách, ktoré môžu kontaminovať procesné prostredie v citlivých epitaxiálnych systémoch. Na zmiernenie tohto problému je povrch grafitovej plsť rovnomerne potiahnutý vrstvou sklovitého uhlíka-hustou, nepokorovanou formou uhlíka, ktorá je známa svojou chemickou inertnosťou, nízkou priepustnosťou plynu a výnimočnou tepelnou stabilitou.

Sklovitý uhlík je ne grafitovaný uhlík, ktorý kombinuje vlastnosti skla a keramiky. Na rozdiel od kryštalického grafitu je to amorfný, takmer 100% hybridizovaný uhlíkový materiál SP2, ktorý je tvorený vysokoteplotným spekaním polymerizovaných organických prekurzorov, ako je fenolová živica, furfuryl alkoholová živica atď., V atmosfére inertného plynu. Pretože je čierny v celom texte a má hladký povrch podobný skla, nazýva sa sklovitý uhlík.

Sklovitý uhlík môže eliminovať tvorbu častíc pecí, zabezpečiť utesnené povrchové póry, má vynikajúce demoldingové vlastnosti a znížiť priepustnosť, vďaka čomu je tento materiál veľmi vhodný pre nepretržité formy a výrobky v polovodičovom priemysle. Tento materiál má širokú škálu aplikácií v polovodičovom priemysle, najmä v grafitských častiach, ako sú komponenty na vytiahnutie kremíka s jedným kryštálom, komponenty epitaxiálneho rastu, kontinuálne odlievacie formy, sklenené tesniace prípravky atď.

Sklovitý uhlík má vysoký teplotný odpor až do 3 000 ° C v inertnom plyne alebo vákuu a na rozdiel od všetkých ostatných keramických a kovových vysokoteplotných materiálov, pevnosť sklovitého uhlíka sa zvyšuje so zvyšujúcou sa teplotou až do 2700 000 a nestáva sa krehký a má extrémne vysoký odolnosť voči tepelnému ohrievaniu a ochladzovaniu. Okrem toho má sklovitý uhlík nízka hmotnosť, nízka absorpcia tepla a nízka tepelná expanzia, takže je vhodný pre takmer všetky vysokoteplotné aplikácie.

Sklovitý uhlíkový povlak hrá rozhodujúcu úlohu pri utesnení povrchových pórov grafitovej plsť, čo výrazne znižuje uvoľňovanie častíc a uhlíkový prach počas prevádzky. Toto je obzvlášť kritické v procesoch epitaxného rastu SIC, kde aj minimálna kontaminácia môže ohroziť kvalitu oblátky a výkon zariadenia. Zapojením pórovitej štruktúry plsti s hladkým, tvrdým sklovitým uhlíkovým plášťom zabezpečuje povlaky čisté a stabilné tepelné prostredie v reakčnej komore.

Kľúčové výhody pocitu sklovitého uhlíka zahŕňajú:

Znížené odkladanie častíc: Hustý povlak sa efektívne zamkne vo voľných vláknach a častiach, čím sa bráni kontaminácii doštičiek a komponentov reaktora.

Vysoká tepelná stabilita: Grafitová plsť aj sklovitý uhlík vydrží teploty presahujúce 2000 ° C v inertnej alebo vákuovej atmosfére, vďaka čomu je produkt ideálny pre vysokoteplotné procesy SIC.

Chemická inertnosť: Sklený povrch uhlíka je odolný voči väčšine kyselín a korozívnych plynov, čím sa v tvrdých podmienkach predlžuje prevádzková životnosť izolačnej vrstvy.

Vylepšená konzistentnosť procesu: Minimalizovaná tvorba častíc prispieva k stabilnejšiemu a opakovateľnejšiemu prostrediu epitaxného rastu, ktoré je nevyhnutné na výrobu vysokokvalitných doštičiek SIC.

Aplikácie sklovitého uhlíkového povlaku sa tiahne predovšetkým na SIC epitaxiálne rastové pece, kde sa používa ako tepelná izolačná vrstva v horúcej zóne. Produkt je zvyčajne nainštalovaný ako podšívka v horných alebo dolných izolačných komínoch, kde poskytuje tak tepelnú ochranu a zabezpečenie čistoty.