Grafika

Stremicorex Graphite Crucibles sú kritickými komponentmi v procese výroby polovodičov, najmä v štádiu rastu kryštálov. Tieto vysoko výkonné kontajnery sú skonštruované tak, aby odolali extrémnym podmienkam potrebným na výrobu vysokokvalitných kremíkových alebo zložených polovodičových kryštálov metódami, ako je proces Czochralski (CZ) alebo techniku plavákovej zóny (FZ).

Hlavnou funkciou grafitových krížov je vydržať a podporovať extrémne vysoké teploty, zvyčajne nad 2000 ° C, kde sa často syntetizujú polovodičové materiály tretej generácie, ako je karbid kremíka a nitrid gália. Krucity vyrobené z vysokokvalitného grafitu vykazujú vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám udržiavaním ich fyzikálnych a chemických stavov na takých extrémnych úrovniach bez akejkoľvek formy rozkladu alebo dokonca metamorfózy. Dobré tepelné vedenie grafitovými sklíčkami znamená, že nebudú fungovať nielen rovnomerne, ale tiež nastaví stabilné teplotné pole. Toto prichádza do hry zásadne počas procesov topenia a kryštalizácie, pretože rovnomerné rozdelenie teploty umožní rastový materiál za viac alebo menej ekvivalentných podmienok, čím sa zníži defekty kryštálov a umožní kvalitné polovodičové kryštály.

V procesoch rastu kryštálov nitridu kremíka alebo gallium (ako je Epitaxia CVD v parnej fáze alebo PVT pre transport fyzikálneho pary) sa na udržanie surovín a poskytovanie kontrolovaného rastového prostredia používajú grafitové krížové látky. Chemická inertnosť téglika zaisťuje, že chemicky nereaguje s polovodičovým materiálom pri vysokých teplotách, čím sa zachováva vysoká čistota materiálu. Zároveň dobrá tepelná vodivosť grafitového téglika pomáha tvoriť rovnomerný teplotný gradient, čo poskytuje ideálne podmienky na rast kryštálov a znižujú nečistoty a štrukturálne defekty.

Chemická inertnosť grafitových krížových klíkov je kľúčovým znakom pri čistení polovodičových materiálov. Jeho vysoko čistý grafitový materiál môže izolovať vonkajšie znečistenie a zabrániť tomu, aby nečistoty vstúpili do roztaveného polovodičového materiálu. Povrch grafitového téglika môže byť tiež potiahnutý (ako je napríklad povlak karbidu kremíka), aby sa zvýšil jeho oxidačný odpor a odolnosť proti korózii, čím ďalej zabezpečuje vysokú čistotu a vysokú stabilitu výrobného procesu.