Grafitová elektróda

Grafitová elektróda Semicorex je vysoko čistý, precízne vyrobený grafitový komponent na použitie v polovodičových tepelných aplikáciách, kde sú elektrická vodivosť, tepelná stabilita a rozmerová presnosť prvoradé. V skutočnosti sa tento typ elektród používa vo vysokoteplotných peciach, epitaxných reaktoroch a komorách na tepelné spracovanie, čo uľahčuje stabilné vedenie prúdu, prenos tepla a stabilitu v agresívnych podmienkach teploty a atmosféry. Vďaka extrémnej čistote, rovnomernosti pevnej štruktúry a vysokým mechanickým vlastnostiam grafitových elektród Semicorex môžu poskytnúť spoľahlivý tepelný výkon ako vykurovacie prvky v náročných polovodičových aplikáciách.

Grafitová elektróda je vyrobená z vysoko kvalitného jemnozrnného grafitového materiálu, pričom každá z nich je vyrobená pomocou pokročilého postupu extrúzie, vysokoteplotnej karbonizácie a grafitizácie. Grafitová mikroštruktúra je navrhnutá pre približne konštantný elektrický odpor, vysokú tepelnú vodivosť a mechanickú stabilitu. Konečným produktom je tepelný vodič s vysokou čistotou, ktorý zachováva fyzický stav a rovnomerné rozloženie prúdu v prostredí s vysokým výkonom, ako aj rýchle kolísanie teploty.

Ultra výkon v našomgrafit

Náš grafit zaručuje vynikajúcu jednotnosť výkonu. Po prvé, počas procesu karbonizácie majú naše pece iba 115 metrov kubických. Náš technický tím monitoruje teplotné pole grafitových produktov v rôznych oblastiach každej pece. V počiatočnom štádiu nízkych teplôt (0-200°C) regulujeme teplotu v rozmedzí ±10°C a pri vysokých teplotách (nad 600°C) v rozmedzí ±1°C. Sledujeme nielen teplotné pole medzi rôznymi časticami grafitu, ale aj povrchovú a vnútornú teplotu každého jednotlivého kusu grafitu, pričom ju riadime v rozmedzí ±3°C. V každej karbonizačnej peci sledujeme 8 teplotných bodov.

Po druhé, počas procesu grafitizácie, ako príklad 500 kg dávky, sledujeme aj 8 teplotných bodov. Po grafitizácii náhodne odoberieme vzorky a deštruktívne otestujeme 24 bodov pozdĺž osí X, Y a Z, aby sme zabezpečili jednotnosť. Väčšina spoločností v tomto odvetví testuje iba os X alebo nanajvýš os XY, pričom typickí výrobcovia testujú len 6-8 bodov a tí lepší testujú 12 bodov. Testujeme 24 bodov.

V polovodičovom tepelnom poli je grafitová elektróda kritickou súčasťou ohrievacej zostavy, ktorá smeruje elektrický prúd do ohrievacej zóny a umožňuje riadenú distribúciu teploty v rámci špecifického procesu, ako je oxidácia, difúzia, LPCVD alebo epitaxia. Grafitová elektróda musí zastávať spoľahlivú prevádzkovú úlohu pri teplotách presahujúcich 2 000 °C, pričom musí odolávať oxidácii, deformácii alebo kontaminácii vykurovacieho miesta.

Grafitové elektródy Semicorex majú vynikajúcu elektrickú vodivosť, ktorá uľahčuje efektívnu dodávku energie s minimálnymi stratami a majú vynikajúcu tepelnú vodivosť, ktorá umožňuje rýchly rovnomerný prenos tepla v peci. Kombinácia nízkej tepelnej rozťažnosti a vysokej mechanickej pevnosti znižuje deformáciu a praskanie počas tepelných cyklov, čím poskytuje stabilné správanie počas dlhej životnosti. Každá elektróda je opracovaná podľa prísnych rozmerových tolerancií a jemnej povrchovej úpravy, aby sa zabezpečil konzistentný kontakt a zanedbateľný elektrický odpor na kontaktnom povrchu.

S ohľadom na špecifické požiadavky polovodičových procesov dokáže Semicorex navrhnúť vlastné návrhy elektród tak, aby vyhovovali akejkoľvek konfigurácii pece a špecifikácii výkonu. Môžu byť k dispozícii rôzne priemery, dĺžky, typy spojov alebo povrchové úpravy. Ak je to potrebné, na podporu odolnosti voči oxidácii a životnosti v prostredí s vysokým obsahom kyslíka alebo v prostredí s reaktívnymi plynmi možno použiť náterové materiály, ako je SiC alebo pyrolytický uhlík.

Vysoká čistotagrafitový materiálslúži na zabezpečenie neuveriteľne nízkych hladín kovových nečistôt (a plynných nečistôt), často viac ako 99,999 % uhlíka. Takéto nízke hladiny nečistôt pomáhajú predchádzať kontaminácii polovodičových doštičiek počas tepelného spracovania. V kombinácii s výraznou hĺbkou opracovania a leštenou povrchovou úpravou spĺňajú grafitové elektródy Semicorex mechanickú aj chemickú stabilitu najmodernejších technológií výroby plátkov.

Či už sa používa v difúznych peciach, epitaxných reaktoroch alebo zariadeniach na spracovanie pri vysokých teplotách, grafitová elektróda Semicorex poskytuje bezkonkurenčný výkon v najnáročnejších tepelných prostrediach. Kombináciou vysokej čistoty, presnej geometrie a pokročilého spracovania materiálu prináša Semicorex elektródové riešenie, ktoré zaisťuje stabilné vedenie prúdu, konzistentné zahrievanie a dlhodobú prevádzkovú spoľahlivosť, ktorá je nevyhnutná pre výrobu polovodičov novej generácie.