Grafitový ohrievač Semicorex pre horúcu zónu, navrhnutý tak, aby spoľahlivo fungoval vo vysokoteplotných peciach, je navrhnutý tak, aby odolal náročným podmienkam, ktoré sú vlastné procesom, ako je chemické vylučovanie z pár (CVD), epitaxia a vysokoteplotné žíhanie. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonného grafitového ohrievača pre horúcu zónu, ktorý spája kvalitu s nákladovou efektívnosťou.**
Homogénne rozloženie teplôt:Grafitový ohrievač pre horúcu zónu je známy svojimi rovnomernými charakteristikami ohrevu, ktoré sa dosahujú kombináciou starostlivého spracovania materiálu a presného obrábania. Táto homogenita zaisťuje konzistentný teplotný profil na celej vykurovacej ploche, čím sa minimalizujú teplotné gradienty, ktoré môžu viesť k nerovnomernému spracovaniu plátkov, zníženému výťažku a nekonzistentnému výkonu zariadenia.
Výnimočná odolnosť proti korózii:Grafitový ohrievač pre horúcu zónu demonštruje pozoruhodnú odolnosť voči rôznym korozívnym plynom a chemikáliám, ktoré sa bežne vyskytujú pri vysokoteplotnom spracovaní polovodičov. Táto prirodzená inertnosť zaisťuje dlhodobú stabilitu a výkon ohrievača, minimalizuje riziká kontaminácie a predlžuje prevádzkovú životnosť.
Vynikajúca odolnosť proti oxidácii:Na rozdiel od bežného grafitu predstavuje grafitový ohrievač pre horúcu zónu vynikajúcu odolnosť voči oxidácii, a to aj pri zvýšených teplotách. Táto charakteristika je rozhodujúca pre udržanie integrity ohrievača a zabránenie vzniku časticovej kontaminácie v spracovacej komore.
Ultra vysoká chemická čistota:Grafitový ohrievač pre horúcu zónu je spracovaný tak, aby dosahoval mimoriadne vysoké úrovne čistoty, čím sa minimalizuje riziko zanesenia nežiaducich kontaminantov do prostredia spracovania polovodičov. Táto výnimočná čistota je nevyhnutná pre zachovanie integrity jemných polovodičových materiálov a zabezpečenie požadovaných elektrických a optických vlastností vyrobených zariadení.
Vysoká mechanická pevnosť a stabilita:Grafitový ohrievač pre horúcu zónu má vynikajúcu mechanickú pevnosť a rozmerovú stabilitu pri zvýšených teplotách, čo umožňuje výrobu robustných komponentov ohrievača, ktoré sú schopné odolať náročným prevádzkam pri vysokých teplotách, vrátane tepelných cyklov a mechanického namáhania.