Grafitové vykurovacie telesá

Grafitové vykurovacie prvky Semicorex sa stali základnými komponentmi pri výrobe polovodičov, ktoré umožňujú presné a kontrolované tepelné prostredie potrebné pre pokročilé spracovanie doštičiek. Vďaka jedinečnej kombinácii materiálových vlastností, flexibilite dizajnu a výkonnostných výhod sú ideálne na splnenie prísnych požiadaviek na výrobu polovodičových zariadení novej generácie. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonných grafitových vykurovacích telies, ktoré spájajú kvalitu s cenovou efektívnosťou.**

Odoslať dopyt

Popis produktu

1. Presné riadenie teploty pre vylepšené výsledky procesu:

Grafitové vykurovacie telesá Semicorex v spojení so sofistikovanými systémami regulácie teploty umožňujú tesnú reguláciu teploty a rýchle zvyšovanie teploty, čo umožňuje výrobcom doladiť parametre procesu a dosiahnuť optimálne výsledky.

2. Výnimočná rovnomernosť vykurovania a vodivosť:

Grafitové vykurovacie telesá vykazujú výnimočnú rovnomernosť vo svojej vykurovacej štruktúre, čím zaisťujú rovnomerné rozloženie tepla po celej vykurovacej ploche. To eliminuje horúce miesta a teplotné gradienty, ktoré môžu viesť k nekonzistentnému spracovaniu plátkov, zmenám v ukladaní filmu alebo poruchám v raste kryštálov. A ich vynikajúca tepelná vodivosť umožňuje efektívne vytváranie tepla a prenos do cieľového substrátu alebo procesnej komory, táto účinnosť minimalizuje spotrebu energie, skracuje čas spracovania a prispieva k celkovým úsporám nákladov.

3. Odolnosť pri tepelnom namáhaní:

Výroba polovodičov často zahŕňa rýchle zmeny teploty a extrémne tepelné cykly. Grafitové vykurovacie telesá sú navrhnuté tak, aby odolali týmto náročným podmienkam a zachovali si svoju štrukturálnu integritu aj pri výraznom tepelnom namáhaní. Táto robustnosť zaisťuje konzistentný výkon a predĺženú životnosť, minimalizuje prestoje a znižuje požiadavky na údržbu.

4. Rozmerová stabilita pri vysokých teplotách:

Udržiavanie presných rozmerov je rozhodujúce pre presné umiestnenie plátku a riadenie procesu. Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti grafitových vykurovacích telies zaisťuje minimálne zmeny rozmerov aj pri zvýšených prevádzkových teplotách. Táto rozmerová stabilita zaručuje konzistentné vzory ohrevu, presné riadenie teploty a opakovateľné výsledky procesu.

5. Vynikajúca odolnosť proti oxidácii:

Vystavenie vysokým teplotám a oxidačnému prostrediu môže znížiť výkon a životnosť vykurovacích telies. Grafitové vykurovacie telesá vykazujú vynikajúcu odolnosť proti oxidácii, pričom pri zvýšených teplotách vytvárajú ochrannú vrstvu oxidu. Táto prirodzená pasivačná bariéra zabraňuje ďalšej oxidácii a degradácii, čím zaisťuje dlhodobý výkon a spoľahlivosť v náročných prostrediach spracovania polovodičov.

6. Chemické látky inertné voči spracovaniu:

Výroba polovodičov využíva širokú škálu reaktívnych plynov a chemikálií. Vlastná chemická inertnosť grafitových vykurovacích telies ich robí vysoko odolnými voči korózii a degradácii týmito drsnými látkami. Táto kompatibilita zabezpečuje jeho dlhú životnosť a zabraňuje kontaminácii citlivých plátkov alebo procesných komôr.

7. Návrhy na mieru pre špecifické aplikácie:

Grafitové vykurovacie telesá Semicorex môžu byť presne opracované do zložitých tvarov a konfigurácií, aby vyhovovali špecifickým požiadavkám rôznych polovodičových procesov. Táto flexibilita dizajnu umožňuje optimalizovanú distribúciu tepla, cielené vykurovacie zóny a integráciu do rôznych spracovateľských zariadení vrátane systémov rýchleho tepelného žíhania, komôr na chemické naparovanie a difúznych pecí.