Horizontálne člny s kremennými oblátkami

Horizontálne kremenné oblátkové člnybežne držia polovodičové doštičky vodorovne v rúrach pece zariadenia na tepelné spracovanie, vyhrievané vonkajšími vykurovacími zariadeniami. Sú široko používané v náročných procesoch tepelného spracovania vysokoteplotných korozívnych polovodičov, ako je tepelná oxidácia, vysokoteplotná difúzia, žíhanie a procesy chemického nanášania pár (CVD).

Funkcie Semicorex horizontálnych quartzových člnov

1.Stabilné držanie a zaistenie

Horizontálne kremenné doštičky Semicorex majú vynikajúcu nosnosť a môžu neustále ponúkať stabilnú podporu pre viacero polovodičových doštičiek. A ich optimalizovaný vonkajší dizajn a precízna štrbinová štruktúra zaisťujú každýoblátkaje perfektne uchytený a pevne zaistený na horizontálnych kremenných člnkoch, čo výrazne znižuje škrabance a kolízie plátku spôsobené trasením, posunutím a nakláňaním počas prepravy a výrobných procesov.

2. Pomoc pri jednotnosti procesov

Rovnomerne rozmiestnená štrbinová štruktúra horizontálnych kremenných plátkov umožňuje usporiadané umiestnenie polovodičových plátkov, čím sa vytvára stabilné a hladké pole prúdenia plynu vo vysokoteplotných peciach. Konštrukčný dizajn dosahuje konzistentný kontakt s plynom a rýchlosť reakcie na každom povrchu plátku, čím účinne znižuje rôzne defekty spôsobené nerovnomerným ohrevom a rozdielnym kontaktom plynu, ako je neúplná oxidácia plátku, nerovnomerné nanášanie tenkého filmu a odchýlka koncentrácie dopingu.

3. Dlhotrvajúca životnosť

Vďaka vynikajúcej odolnosti kremenného materiálu voči vysokej teplote môžu horizontálne kremenné člny Semicorex dlhodobo odolávať vysokým teplotám 1100-1200 ℃ bez deformácie alebo roztavenia.Kremeňje chemicky inertný voči plynom bežne používaným v polovodičových procesoch, ako je kyslík, dusík a chlorovodík. Táto výnimočná chemická inertnosť môže minimalizovať riziko korózie z procesných plynov, výrazne predĺžiť životnosť a znížiť čas a náklady na výmenu zariadenia.