Injektor zapaľovania

Injektor zapaľovania Semicorex alebo kremeňový zapaľovací reaktor je komponent s inžinierom určeným na umožnenie chemických procesov s vysokou čistotou, ktoré vyžadujú zapaľovanie alebo začatie reakcie. Injektor zapaľovania vyrobený z fúzovaného kremeňa kombinuje najlepšie vlastnosti fúzovaného kremeňa (tepelná stabilita, chemická rezistencia a tolerancia pre štrukturálne nepresnosti), aby poskytla predvídateľné použitie v polovodičových a výskumných aplikáciách. Použitie injektora zapaľovania je nevyhnutné v tých procesoch, ktoré umožňujú zapaľovanie výparov alebo reaktívnych zlúčenín bez možnosti kontaminácie, aby sa zabezpečila bezpečnosť a presnosť v extrémnych aplikáciách.

Kremeň bol vybraný pre injektor zapaľovania z dôvodu, že Quartz poskytuje najvyššiu úroveň čistoty a zotrvačnosti ako materiál. Kovy a konvenčná keramika môžu mať vysokú čistotu, ale nie sú inertné a môžu zaviesť stopové kontamináty, preto je ťažké vykonávať citlivé procesy bez možnosti kontaminácie alebo zmeny analytických pozorovaní. Kremeň je všeobecne považovaný za ideálny materiál, keď je možné tolerovať tepelný šok, najmä pre zapaľovacie prostredia, kde sa dá očakávať rýchle zmeny teploty v dôsledku neočakávaných podmienok zapaľovania. Rovnako dôležité; Kremeň prežije agresívne chemikálie, aby sa zabránilo rušeniu alebo poškodeniu v dôsledku korozívnych plynov alebo energie z reakcie v dlhodobom prostredí používania.

Injektor zapaľovania je navrhnutý tak, aby slúžil ako lokalizovaná reakčná zóna, ktorá poskytuje čisté a kontrolované prostredie na vytváranie reakcií založených na spaľovaní alebo plazme. Je to užitočné v sektore výroby polovodičov, v ktorom môžu reaktory zapaľovania aktivovať prekurzorové plyny, rozkladať komplexné chemické druhy alebo iniciovať kroky čistiaceho prostriedku na podporu plazmy. Čistota stien reaktorov zaručuje, že nežiaduce sekundárne reakcie medzi komorou a reaktantmi nemusia negatívne ovplyvniť reakciu, a tak môžu poskytnúť presnú kontrolu chemickej reakcie. Optická transparentnosť kremeňa poskytuje optické monitorovacie schopnosti v reálnom čase na pozorovanie reakčnej zóny, úplne nezasahovanej, čo je výhodné pri experimentálnej práci alebo výrobe.

Spolu s chemickými a tepelnými prvkami je injektor zapaľovania uprednostňovaný z dôvodu jeho uľahčenia v presne vyrábaných objektoch. Keďže sa komponent vyrába rozmery s vysokou toleranciou, môže sa tiež ľahko zapadnúť do reaktorov a integrovať sa do existujúcich systémov alebo byť vyrobený tak, aby bol vhodný pre usporiadanie pre konkrétny nástroj alebo nástroje. Nepórne hladké povrchy vnútorného kremenného reaktora sú prospešné pri znižovaní upevňovania častíc pre ľahké čistenie, pretože vrstvy materiálu pripevnené k vnútorným povrchom komory budú po cykle konzistentným cyklom v dôsledku opakovaného použitia komponentu. Pomáha pri znižovaní nákladov a zlepšovaní efektívnosti procesov, čo je veľmi relevantné pre veľkoobjemové výrobné operácie.